【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
【技術(shù)保護點】
一種晶圓環(huán),其特征在于,所述晶圓環(huán)的材料由質(zhì)量百分比為60%~81%的聚碳酸酯、18.5%~38.5%的碳纖維以及0.5%~1.5%的助劑構(gòu)成。
【技術(shù)特征摘要】
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員:簡海亮,劉濤,
申請(專利權(quán))人:深圳歐菲光科技股份有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:
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