調節板和具有該調節板的用于處理基板的裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供了一種使用處理氣體的基板處理裝置及其使用的調節板。一種基板處理裝置，該基板處理裝置包括：室，其設有在其中執行處理的空間；支撐件，其在室中支撐基板；氣體供給件，其將處理氣體供給到布置在支撐件上的基板上；以及排氣組件，其耦合到室以排出室中的氣體，其中所述排氣組件包括：排氣管，其連接到所述室；排氣室，其連接到排氣管以在排氣管中提供真空壓力；閥，其調節排氣管的開口率；以及調節板，其具有設置在室中的覆蓋板，以當排氣管部分地打開時，沿著與排氣管的打開區域相對應的方向干擾室的內部區域中的處理氣體的流動。因此，處理氣體可以均勻地供給到基板上。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種基板處理裝置，該基板處理裝置包括：室，其設有在其中執行處理的空間；支撐件，其在所述室中支撐基板；氣體供給件，其將處理氣體供給到布置在所述支撐件上的所述基板上；以及排氣組件，其與所述室耦合以排放所述室中的氣體，其中所述排氣組件包括：排氣管，其連接到所述室；排氣室，其連接到所述排氣管以在所述排氣管中提供真空壓力；閥，其調節所述排氣管的開口率；以及調節板，其具有設置在所述室中的覆蓋板，以當所述排氣管部分地打開時，在與所述排氣管的打開區域相對應的方向上干擾在所述室的內部區域中的所述處理氣體的流動。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：金炯俊，
申請(專利權)人：細美事有限公司，
類型：發明
國別省市：