本發明專利技術提供一種用于按壓納米壓印用模具來轉印微細凹凸圖案的“納米壓印”的、含有復合樹脂的納米壓印用固化性組合物，所述復合樹脂具有硅烷醇基和/或水解性甲硅烷基及聚合性雙鍵的聚硅氧烷鏈段、和該聚硅氧烷以外的聚合物鏈段。另外，提供使用該納米壓印組合物的納米壓印成形體、抗蝕膜、樹脂模具和圖案形成方法。
【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
【技術保護點】
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】...
【專利技術屬性】
技術研發人員：關根均，高田泰廣，谷本尚志，矢木直人，
申請(專利權)人：DIC株式會社，
類型：
國別省市：
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