【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種PECVD柔性太陽能電池制造設備，所述設備包括至少一個真空室，每個真空室內設有至少一個電極室，其特征在于，所述電極室從內向外依次包括內管、中管和外管，所述內管、中管和外管兩端通過端蓋進行固定，且內管和中管間的距離處處相等，所述內管和中管分別作為內電極和外電極與射頻發生器相連。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：奚建平，
申請(專利權)人：蘇州思博露光伏能源科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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