【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種旋轉補償器型橢偏儀的系統誤差評估及消除方法，其通過建立旋轉補償器型橢偏儀的系統誤差與引起系統誤差的每個元件的元件誤差之間的關系，實現對系統誤差的評估并進而消除該系統誤差，其特征在于，該方法具體包括以下步驟：?（1）建立旋轉補償器型橢偏儀系統模型和系統傳遞函數，并據此獲得待測樣品的穆勒矩陣的解析表達式；?（2）通過對所述待測樣品的穆勒矩陣的解析表達式進行泰勒展開，獲得旋轉補償器型橢偏儀的系統誤差與每個元件誤差之間的關系，從而實現對橢偏儀系統誤差的評估；?（3）利用所述旋轉補償器型橢偏儀對樣品進行多次測量，其中每次測量的起檢器與檢偏器的方位角形成的方位角組合互不相同，得到對應樣品的多個穆勒矩陣，求取該多個穆勒矩陣的均值，得到的穆勒矩陣即為消除了橢偏儀系統誤差的待測樣品的穆勒矩陣。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：劉世元，杜衛超，張傳維，谷洪剛，李蘇斌，
申請(專利權)人：華中科技大學，
類型：發明
國別省市：
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