基于微機(jī)械直接熱電式功率傳感器的相位檢測(cè)器制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)公開(kāi)了一種基于微機(jī)械直接熱電式功率傳感器的相位檢測(cè)器，包括襯底、設(shè)置在襯底上的地線、MEMS功合器、共面波導(dǎo)傳輸線、兩組MEMS固支梁結(jié)構(gòu)和MEMS直接熱電式微波功率傳感器、以及外接的壓控振蕩器和頻率計(jì)；MEMS功合器用于將輸入的兩路信號(hào)進(jìn)行矢量合成，然后由MEMS直接熱電式微波功率傳感器檢測(cè)合成后的微波信號(hào)的功率，最后輸出直流電壓。本實(shí)用新型專利技術(shù)提供的基于微機(jī)械直接熱電式功率傳感器的相位檢測(cè)器不但具有新穎的結(jié)構(gòu)，而且精簡(jiǎn)了一般相位檢測(cè)器的組成模塊，其直接將鑒相器和低通濾波器兩個(gè)模塊簡(jiǎn)化為一個(gè)由MEMS功合器和MEMS直接熱電式微波功率傳感器構(gòu)成的模塊，提高了相位檢測(cè)器的集成度，并且能與GaAs單片微波集成電路兼容。（*該技術(shù)在2023年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
基于微機(jī)械直接熱電式功率傳感器的相位檢測(cè)器，其特征在于：包括襯底（1）、設(shè)置在襯底（1）上的地線（2）、MEMS功合器、共面波導(dǎo)傳輸線（3）、兩組MEMS固支梁結(jié)構(gòu)和MEMS直接熱電式微波功率傳感器、以及外接的壓控振蕩器和頻率計(jì)，在襯底（1）上定義一條對(duì)稱軸線；所述地線（2）形成沿對(duì)稱軸線對(duì)稱的結(jié)構(gòu)，包括對(duì)稱位于對(duì)稱軸線兩側(cè)且不相接觸的兩段側(cè)邊地線、以及對(duì)稱位于對(duì)稱軸線上的一段公共地線；所述MEMS功合器形成沿對(duì)稱軸線對(duì)稱的結(jié)構(gòu)，包括對(duì)稱位于對(duì)稱軸線兩側(cè)的兩段不對(duì)稱共面帶線（4）和隔離電阻（5），所述兩段不對(duì)稱共面帶線（4）的輸入端通過(guò)隔離電阻（5）隔離、輸出端相連接；所述共面波導(dǎo)傳輸線（3）形成沿對(duì)稱軸線對(duì)稱的結(jié)構(gòu)，包括位于對(duì)稱軸線兩側(cè)且不相連接的兩段輸入共面波導(dǎo)傳輸線、以及對(duì)稱位于對(duì)稱軸線上的一段輸出共面波導(dǎo)傳輸線；所述兩段輸入共面波導(dǎo)傳輸線分別與兩段不對(duì)稱共面帶線（4）的輸入端相連接，分別作為第一信號(hào)輸入端口和第二信號(hào)輸入端口；所述兩段不對(duì)稱共面帶線（4）的輸出端相連接后接入輸出共面波導(dǎo)傳輸線，作為信號(hào)輸出端口；所述兩組MEMS固支梁結(jié)構(gòu)分別設(shè)置在對(duì)稱軸線的兩側(cè)且相對(duì)對(duì)稱軸線對(duì)稱，所述MEMS固支梁結(jié)構(gòu)包括MEMS固支梁（10）和錨區(qū)（11），所述MEMS固支梁（10）跨接在位于同一側(cè)的輸入共面波導(dǎo)傳輸線的上方、兩端分別通過(guò)錨區(qū)（11）固定在位于同一側(cè)的側(cè)邊地線和公共地線上；所述MEMS固支梁（10）和位于其下方的輸入共面波導(dǎo)傳輸線構(gòu)成補(bǔ)償電容；所述MEMS直接熱電式微波功率傳感器包括兩組氮化鉭電阻（7）、半導(dǎo)體熱電偶臂（6）和直流輸出塊（8），所述信號(hào)輸出端口分成兩路分別通過(guò)一組氮化鉭電阻（7）和半導(dǎo)體熱電偶臂（6）與兩段側(cè)邊地線相連接，其中一段側(cè)邊地線通過(guò)一個(gè)直流輸出塊（8）接入壓控振蕩器，另一段側(cè)邊地線通過(guò)另一個(gè)直流輸出塊（8）接地；所述兩組氮化鉭電阻（7）和半導(dǎo)體熱電偶臂（6）形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)；所述壓控振蕩器的輸出信號(hào)接入頻率計(jì)。...

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：廖小平，吳昊，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：東南大學(xué)，
類(lèi)型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：