基于微機械直接熱電式功率傳感器的分頻器制造技術

本實用新型專利技術公開了一種基于微機械直接熱電式功率傳感器的分頻器，包括襯底、設置在襯底上的地線、MEMS功合器、共面波導傳輸線、兩組MEMS固支梁結構和MEMS直接熱電式微波功率傳感器、以及外接的壓控振蕩器和乘法器；MEMS功合器用于將輸入的兩路信號進行矢量合成，然后由MEMS直接熱電式微波功率傳感器檢測合成后的微波信號的功率，最后輸出直流電壓。本實用新型專利技術提供的基于微機械直接熱電式功率傳感器的分頻器不但具有新穎的結構，而且精簡了一般分頻器的組成模塊，其直接將鑒相器和低通濾波器兩個模塊簡化為一個由MEMS功合器和MEMS直接熱電式微波功率傳感器構成的模塊，提高了分頻器的集成度，并且能與GaAs單片微波集成電路兼容。（*該技術在2023年保護過期，可自由使用*）

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
基于微機械直接熱電式功率傳感器的分頻器，其特征在于：包括襯底（1）、設置在襯底（1）上的地線（2）、MEMS功合器、共面波導傳輸線（3）、兩組MEMS固支梁結構和MEMS直接熱電式微波功率傳感器、以及外接的壓控振蕩器和乘法器，在襯底（1）上定義一條對稱軸線；所述地線（2）形成沿對稱軸線對稱的結構，包括對稱位于對稱軸線兩側且不相接觸的兩段側邊地線、以及對稱位于對稱軸線上的一段公共地線；所述MEMS功合器形成沿對稱軸線對稱的結構，包括對稱位于對稱軸線兩側的兩段不對稱共面帶線（4）和隔離電阻（5），所述兩段不對稱共面帶線（4）的輸入端通過隔離電阻（5）隔離、輸出端相連接；所述共面波導傳輸線（3）形成沿對稱軸線對稱的結構，包括位于對稱軸線兩側且不相連接的兩段輸入共面波導傳輸線、以及對稱位于對稱軸線上的一段輸出共面波導傳輸線；所述兩段輸入共面波導傳輸線分別與兩段不對稱共面帶線（4）的輸入端相連接，分別作為參考信號輸入端口和反饋信號輸入端口；所述兩段不對稱共面帶線（4）的輸出端相連接后接入輸出共面波導傳輸線，作為信號輸出端口；所述兩組MEMS固支梁結構分別設置在對稱軸線的兩側且相對對稱軸線對稱，所述MEMS固支梁結構包括MEMS固支梁（10）和錨區（11），所述MEMS固支梁（10）跨接在位于同一側的輸入共面波導傳輸線的上方、兩端分別通過錨區（11）固定在位于同一側的側邊地線和公共地線上；所述MEMS固支梁（10）和位于其下方的輸入共面波導傳輸線構成補償電容；所述MEMS直接熱電式微波功率傳感器包括兩組氮化鉭電阻（7）、半導體熱電偶臂（6）和直流輸出塊（8），所述信號輸出端口分成兩路分別通過一組氮化鉭電阻（7）和半導體熱電偶臂（6）與兩段側邊地線相連接，其中一段側邊地線通過一個直流輸出塊（8）接入壓控振蕩器，另一段側邊地線通過另一個直流輸出塊（8）接地；所述兩組氮化鉭電阻（7）和半導體熱電偶臂（6）形成串聯結構；所述壓控振蕩器的輸出信號接入乘法器后產生的倍頻信號接入反饋信號輸入端口。...

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：廖小平，吳昊，
申請(專利權)人：東南大學，
類型：實用新型
國別省市：