【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種增強型狹縫光波導光柵FP腔光學生化傳感芯片，包括自下而上依次層疊鍵合的硅基層、二氧化硅層和單晶硅層構成的基體，其特征在于，所述基體的單晶硅層包含狹縫光波導，所述狹縫光波導的光信號傳播路徑上包含光柵FP腔，基體俯視方向為長方形，所述狹縫光波導為增強型狹縫光波導，所述增強型狹縫光波導包括中心狹縫槽和增強狹縫槽，中心狹縫槽位于基體長度方向的中心軸線上，長度與基體所述中心軸線相等，增強狹縫槽對稱分布與中心狹縫槽兩邊，方向與中心狹縫槽一致，所述增強狹縫槽位于所述光柵FP腔的兩個光柵之間的區域。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：王卓然，袁國慧，高亮，
申請(專利權)人：成都譜視科技有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。