用于超導(dǎo)穩(wěn)頻振蕩器的超導(dǎo)諧振腔的內(nèi)表面處理方法技術(shù)

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種用于超導(dǎo)穩(wěn)頻振蕩器的超導(dǎo)諧振腔的內(nèi)表面處理方法，包括如下步驟：離心式滾磨拋光，離心式滾磨拋光的時(shí)間為10-15天；低溫退火，低溫退火的溫度為750℃，低溫退火的時(shí)間為2-5小時(shí)；高溫退火，高溫退火的溫度為1400-1500℃，高溫退火的時(shí)間為24-32小時(shí)；化學(xué)拋光，化學(xué)拋光的時(shí)間為20-40分鐘；電拋光；高壓水沖洗，高壓水沖洗的時(shí)間為40-120小時(shí)；低溫烘烤，低溫烘烤的溫度為70-80℃，低溫烘烤的時(shí)間為3-7天。所述方法能夠有效地消除因電子束焊接引起的超導(dǎo)諧振腔內(nèi)表面的凸起，從而提高超導(dǎo)諧振腔的Q值，當(dāng)超導(dǎo)諧振腔的頻率為9GHz時(shí)，其Q值高達(dá)109。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
用于超導(dǎo)穩(wěn)頻振蕩器的超導(dǎo)諧振腔的內(nèi)表面處理方法，其特征在于，該方法包括如下步驟：離心式滾磨拋光，向超導(dǎo)諧振腔內(nèi)添加磨料，超導(dǎo)諧振腔繞設(shè)于其外部的轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)繞自身的中心線轉(zhuǎn)動(dòng)，離心式滾磨拋光的時(shí)間為10?15天；低溫退火，低溫退火的溫度為750℃，低溫退火的時(shí)間為2?5小時(shí)，低溫退火時(shí)的真空度為10?8?10?10torr，低溫退火后隨爐冷卻至室溫；高溫退火，高溫退火的溫度為1400?1500℃，高溫退火的時(shí)間為24?32小時(shí)，高溫退火時(shí)的真空度為10?8?10?10torr，高溫退火后隨爐冷卻至室溫；化學(xué)拋光，化學(xué)拋光的拋光劑使用體積比氫氟酸：硝酸：磷酸為1：1：1的第一混合酸溶液，將所述第一混合酸溶液添加到超導(dǎo)諧振腔中，化學(xué)拋光的時(shí)間為20?40分鐘，化學(xué)拋光的深度為100?200μm；電拋光，電拋光的拋光劑使用體積比氫氟酸：硫酸為1：9的第二混合酸溶液，將所述第二混合酸溶液添加到超導(dǎo)諧振腔中，然后在所述第二混合酸溶液與超導(dǎo)諧振腔的內(nèi)表面之間施加220V的交流電壓，且施加該交流電壓的時(shí)間為20?40分鐘，使得所述第二混合酸溶液與超導(dǎo)諧振腔的內(nèi)表面之間產(chǎn)生電化學(xué)反應(yīng)；高壓水沖洗，高壓水沖洗時(shí)使用國家一級(jí)電子水，其水壓為80kgf/cm2,高壓水沖洗的時(shí)間為40?120分鐘；低溫烘烤，低溫烘烤的溫度為70?80℃，低溫烘烤的時(shí)間為3?7天，低溫烘烤時(shí)的真空度為3*10?8?3.8*10?9torr。...

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王暖讓，崔永順，楊仁福，高連山，年豐，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：北京無線電計(jì)量測試研究所，
類型：發(fā)明
國別省市：