等離子體氣相薄膜沉積設(shè)備的附屬前端模塊制造技術(shù)

等離子體氣相薄膜沉積設(shè)備的附屬前端模塊，主要解決現(xiàn)有附屬前端模塊存在的結(jié)構(gòu)復(fù)雜、工作效率低及生產(chǎn)成本高的問題。它包括干燥腔，上蓋板，加熱燈及晶圓支架四個(gè)部分。其中上蓋板和加熱燈為標(biāo)準(zhǔn)件連接的一體機(jī)構(gòu)，通過螺栓固定在干燥腔上，干燥腔作為前端模塊與整體設(shè)備的接口連接。本實(shí)用新型專利技術(shù)能夠在晶圓表面形成固態(tài)薄膜之前不僅可以除去晶圓膠帶中的水分，而且又不影響正常的工藝流程，增加烘干晶圓工藝卻不增加生產(chǎn)時(shí)間，相當(dāng)于增加設(shè)備的功能卻不降低生產(chǎn)效率。（*該技術(shù)在2023年保護(hù)過期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種等離子體氣相薄膜沉積設(shè)備的附屬前端模塊，包括干燥腔，其特征在于：它還包括上蓋板，加熱燈及晶圓支架，其中上蓋板和加熱燈為標(biāo)準(zhǔn)件連接的一體機(jī)構(gòu)，通過螺栓固定在干燥腔上，上述晶圓支架是由晶圓支架墊塊、晶圓支架底板及晶圓支架托板以標(biāo)準(zhǔn)件的形式進(jìn)行組裝而成，將組裝完成的晶圓支架以標(biāo)準(zhǔn)件連接方式安裝在干燥腔內(nèi)，將干燥腔上蓋板與加熱燈組裝，組裝完成之后將組裝完成的上蓋板和加熱燈以標(biāo)準(zhǔn)件連接方式安裝在干燥腔的上方，各部分組件安裝完成之后，干燥腔通過整體設(shè)備接口與多腔室的薄膜設(shè)備進(jìn)行連接，安裝在多腔室薄膜設(shè)備反應(yīng)腔前一個(gè)流程的位置。

【技術(shù)特征摘要】

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：凌復(fù)華，吳鳳麗，姜崴，朱超群，蘆佳，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：沈陽拓荊科技有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：