一種具有響應性純色顯示功能的納米火山型陣列薄膜的制備方法技術

一種具有響應性純色顯示功能的納米火山型陣列薄膜的制備方法，屬于材料科學領域。本方法涉及到掩模遮蔽技術、物理氣相沉積技術以及一些組裝和刻蝕方面的技術。整個過程操作簡便，過程低耗清潔，可控性高。通過控制微球的尺寸和掩蔽區域的大小，可以制備不同周期和開口大小的納米火山型陣列。由于上下兩個孔之間的特殊等離子體共振效應，可以產生具有簡便調節方法的純色顯示性質。利用我們的方法制備的納米火山型陣列薄膜制備成本低，具有純色顯示和刺激響應性，可以更好的運用到實際應用中。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種具有響應性純色顯示功能的納米火山型陣列薄膜的制備方法，其步驟如下：1）以1000～3000rpm的轉速將40～50wt%的正向光刻膠溶液旋涂到親水基底上，然后在80～120℃條件下固化0.5～1小時，從而在基底上得到300～400nm厚的光刻膠薄膜；2）在1～5mL濃度為1～20wt%的聚苯乙烯微球的去離子水分散液中加入1～3mL的去離子水，在4000～10000rpm轉速下離心3～5分鐘，在離心后得到的固態物中再加入1～3mL去離子水并再次進行離心，重復加入去離子水和離心過程4～7次；在最后離心得到的固態物中加入1～5mL體積比為1：1的乙醇和去離子水的混合液，在4000～10000rpm轉速下離心5～10分鐘，重復加入混合液和離心過程4～20次，在最后離心得到的固態物中再加入1～5mL體積比為1：1的乙醇和去離子水的混合液，得到疏水聚苯乙烯微球的乙醇和去離子水分散液；用一次性注射器吸取0.1～0.5mL疏水聚苯乙烯微球的乙醇和去離子水分散液，滴加到盛有去離子水的容器中，疏水聚苯乙烯微球就會在氣液界面排列為單層，再加入50～200μL、濃度為1～10wt%的十二烷基磺酸鈉表面活性劑使聚苯乙烯微球彼此緊密排列；將旋涂有光刻膠薄膜的基底從單層聚苯乙烯微球底部將緊密排列的疏水聚苯乙烯微球托起，放于傾斜面上自然干燥就在基底上得到二維有序的單層聚苯乙烯微球陣列；3）將步驟2）制得的基底在刻蝕氣壓為5～10mTorr、刻蝕溫度為10～20℃、氧氣流速為10～50sccm、刻蝕功率為100～200W的條件下，刻蝕100～500秒；在這個過程中，疏水聚苯乙烯微球與其下部的光刻膠薄膜同時被刻蝕，疏水聚苯乙烯微球逐漸變小，光刻膠薄膜由于疏水聚苯乙烯微球的掩膜作用而被刻蝕成納米火山型的陣列；最后將刻蝕過的基底在入射角為0°、5×10?4～1×10?3Pa的真空度下進行熱蒸發沉積金屬銀，沉積速度為0.5～2從而在疏水聚苯乙烯微球和納米火山型光刻膠陣列上沉積得到厚度為50～100nm的金屬銀；4）將熱蒸發沉積金屬銀的基底放置在甲苯溶液中超聲10～60秒，去除聚苯乙烯微球，取出后用氮氣吹干；再放入到無水乙醇中浸泡2～3小時，去除被金屬銀覆蓋的光刻膠，取出洗凈，從而在基底上得到金屬銀納米火山型陣列。FDA0000386123220000011.jpg...

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：張剛，艾斌，于也，
申請(專利權)人：吉林大學，
類型：發明
國別省市：