刀片保持具制造技術

本申請的發明專利技術涉及一種刀片保持具。提供一種具備適于利用機械手進行自動更換的功能的刀片保持具。一種刀片保持具(12)，其包含安裝在基板加工裝置(A)的刻劃頭(10)上的主體部(12a)、平行于主體部(12a)的軸心而形成在主體部(12a)的一端的一對平坦面(12b)、與各平坦面(12b)平行地形成在這些平坦面(12b、12b)之間的切槽(12c)、及安裝在該切槽(12c)的輪片(12e)，且在一對平坦面(12b)中的至少一個面的下端設置從平坦面(12b)突出的至少一根銷(12j)。

【技術實現步驟摘要】
【專利摘要】本申請的專利技術涉及一種刀片保持具。提供一種具備適于利用機械手進行自動更換的功能的刀片保持具。一種刀片保持具(12)，其包含安裝在基板加工裝置(A)的刻劃頭(10)上的主體部(12a)、平行于主體部(12a)的軸心而形成在主體部(12a)的一端的一對平坦面(12b)、與各平坦面(12b)平行地形成在這些平坦面(12b、12b)之間的切槽(12c)、及安裝在該切槽(12c)的輪片(12e)，且在一對平坦面(12b)中的至少一個面的下端設置從平坦面(12b)突出的至少一根銷(12j)。【專利說明】刀片保持具
本專利技術涉及一種刀片保持具，所述刀片保持具是使用于如下的基板加工裝置中，該基板加工裝置是通過一面將圓周脊線上形成著V字型刀尖的輪片(也稱為刀輪或刻劃輪)按壓于載置在平臺(tabel)上的基板的表面一面進行刻劃，而對所述基板加工出切斷用劃線或進行切斷(斷裂)。
技術介紹
以往，已知有利用輪片在由玻璃、硅、陶瓷、半導體等脆性材料構成的基板或貼合基板(以下簡稱為“基板”)的表面形成沿著預刻劃線的劃線(切斷用的槽)或從預切斷線完全切斷的基板加工裝置(參照例如專利文獻1、專利文獻2)。圖16是表示所述專利文獻等中揭示的以往的基板加工裝置的一例的概略立體圖。該基板加工裝置B包含載置并保持成為加工對象的基板W的水平的平臺31。平臺31構成為可通過內置馬達的旋轉驅動部32而在水平面內轉動且可沿著水平的軌道33在Y方向上移動。該Y方向上的移動是通過利用馬達34進行旋轉的螺桿軸35而進行。基板加工裝置B中，以橫跨平臺31的方式設置著包含一對支柱36、36及以將這些支柱36、36連接的方式沿X方向水平延伸的導桿37的橋部38。在導桿37設置著沿X方向水平延伸的導件39，刻劃頭40配置成可沿著導件39在X方向上移動。刻劃頭40在X方向上的移動是通過馬達41的驅動而進行。包含輪片42e的刀片保持具42經由保持具接頭43可裝卸地安裝在刻劃頭40上。在刻劃頭40的內部組裝著可實現保持具接頭43的升降的升降機構。在如上文所述的構成下，一面將輪片42e按壓于載置在平臺31上的基板W—面使輪片42e與平臺31中的一者或兩者移動，由此，可在X-Y方向上對基板W進行刻劃而形成刻劃槽或進行切斷。圖17及圖18是表示以往的刀片保持具42及保持具接頭43的構成的圖。刀片保持具42包含大致圓柱狀的主體部42a、及相對于主體部42a的軸心平行且相互對稱地形成在主體部42a的一端(下端)的一對平坦面42b、42b，此外，與該平坦面42b平行地形成的切槽42c沿著主體部42a的軸心形成在這一對平坦面42b、42b之間。在該切槽42c內，經由相對于主體部42a的軸心正交的輪軸42d而旋轉自如地安裝著輪片42e。在一對平坦面42b中的一個面上標印著代碼42i，該代碼42i記錄著安裝在該刀片保持具42上的輪片42e的直徑或種類、安裝輪片時的設定信息等管理上有用的固有數據。而且，在主體部42a的另一端(上端)設置著安裝在保持具接頭43時用于定位的安裝部42f。安裝部42f包含切削主體部42a而形成的平面部42g與傾斜面42h。平面部42g與主體部42a的軸心平行,且與位于下方的一對平坦面42b正交。而且，主體部42a是由鐵等磁性金屬構成。保持具接頭43在上部包含軸承43a，下部成為保持刀片保持具42的保持部43b。在保持部43b設置著朝向下方開口的剖面大致圓形的開口部43c，在其內部深處部安裝著磁鐵43j。此外，在開口部43c的內部設置著在開口部的與軸心相離的部位沿與該軸心垂直的方向延伸的用于定位的平行銷43d。該平行銷43d是當刀片保持具42插入于開口部43c時，與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而以使得刀片保持具42的方向或姿勢固定的方式進行定位。將刀片保持具42安裝在保持具接頭43時，如圖18所示，使刀片保持具42從其安裝部42f插入保持具接頭43的開口部43c而進行。當將安裝部42f插入于保持具接頭43的開口部43c時，平行銷43d與刀片保持具42的傾斜面42h接觸而定位，并且刀片保持具42的上端部被磁鐵43j磁性吸附而保持。由此，可在刀片保持具42的姿勢朝向固定方向的狀態下簡單地安裝在保持具接頭43上。更換輪片42e時，抵抗磁鐵的磁力從保持具接頭43的開口部43c拉拔刀片保持具42，與刀片保持具一并更換。新安裝的刀片保持具42是通過利用另外設置的讀取器(reader)讀取標印在平坦面42b上的記錄著刀片固有數據的代碼42 i而選擇。國際公開編號W02007/063979公報日本專利特開2011-218815號公報
技術實現思路
當輪片移行規定的移行距離而達到更換時期時、或需要其他規格的輪片時，是在使基板加工裝置B停止之后，進行刀片保持具的更換。具體而言，從刻劃頭的保持具接頭卸除刀片保持具之后，通過利用讀取器讀取代碼而從保管的刀片保持具中選擇所期望的刀片保持具，將該選擇的刀片保持具安裝在保持具接頭上。若如上文所述的更換操作由操作人員通過手工操作而進行，則比較費事，因此，利用機械手自動地進行較為方便。在利用機械手進行更換操作的情況下，為了從多個刀片保持具中選擇所希望的刀片保持具，必需以容易利用讀取器讀取具備代碼的刀片保持具的平坦面、且容易利用機械手拉出的方式配置。在此情況下，由于刀片保持具包含直徑約2_?3_的較小的輪片，故要求穩定地載置在例如載置臺等上，以使在代碼面露出的狀態下輪片不會受損。而且，為了利用機械手選擇并抓住刀片保持具且直接搬運至刻劃頭的保持具接頭而進行安裝，必需考慮載置臺與機械手的相關的組裝。然而，以往，未揭示適于利用如上文所述的機械手進行刀片保持具的自動更換的系統構成，而一直未解決。因此，鑒于所述課題，本專利技術的目的在于提供一種具備適于利用機械手進行自動更換的功能的刀片保持具。為了解決所述課題，在本專利技術中采取如下的技術手段。即，本專利技術的刀片保持具設為如下構成:包含安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對平坦面、與該一對平坦面平行地形成在該一對平坦面之間的切槽、及安裝在該切槽的輪片，且在所述一對平坦面中的至少一個面的下端設置著從平坦面突出的至少一根銷。根據本專利技術的刀片保持具，利用機械手的夾持爪夾著平坦面而拉出時，設置在平坦面的銷成為相對于拉拔方向的對夾持爪的卡扣件。由此，能夠以較輕的力順利且容易地拉出刀片保持具。在本專利技術中，優選的是設為所述銷分別設置在所述一對平坦面上的構成。由此，可相對于拉出方向而平衡性良好地卡住機械手的夾持爪，從而可更順利地拉出刀片保持具。【專利附圖】【附圖說明】圖1是表示包含本專利技術的刀片保持具的基板加工裝置的一例的立體圖。圖2(a)_(c)是表示本專利技術的刀片保持具的一例的圖。圖3是表示本專利技術的刀片保持具及安裝刀片保持具的保持具接頭的立體圖。圖4是表示本專利技術的刀片保持具與保持具接頭的局部剖面前視圖。圖5是表示刀片保持具收納體的一例的分解立體圖。圖6是在刀片保持具收納體中收納著刀片保持具的狀態的剖視圖。圖7(a)_(d)是表示圖5所示的刀片保持具收納體中的彈性止動部的動作的說明圖。圖8(a)、(b)是表示刀片保持具收納體的其他實施例的剖視圖。圖9是表示本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種刀片保持具，其包含安裝在基板加工裝置的刻劃頭上的主體部、平行于該主體部的軸心而形成在該主體部的一端的一對平坦面、與該一對平坦面平行地形成在該一對平坦面之間的切槽、及安裝在該切槽的輪片，且在所述一對平坦面中的至少一個面的下端設置著從平坦面突出的至少一根銷。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：高松生芳，三浦善孝，富永圭介，
申請(專利權)人：三星鉆石工業股份有限公司，
類型：發明
國別省市：