【技術實現步驟摘要】
【技術保護點】
一種基于MEMS的叉指間隙梁結構能量收集器，其組成包括：頂層PZT復合膜梁，其特征是：所述的頂層PZT復合膜梁下方具有兩個底層支撐硅梁，所述的頂層PZT復合膜梁和底層支撐硅梁的兩端分別連接質量塊和固定塊；其中，所述的頂層PZT復合膜梁包括PZT梁層，以及與所述的PZT梁層的上下層分別連接的上金屬電極和下金屬電極。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：邱成軍，陳曉潔，曲偉，卜丹，林連冬，
申請(專利權)人：黑龍江大學，
類型：發明
國別省市：
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