具有周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的磁性組件及其使用方法技術(shù)方案

本發(fā)明專利技術(shù)公開(kāi)了包括周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的磁性裝置。所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)包括被配置成旋轉(zhuǎn)的中心齒輪；至少一個(gè)外圍齒輪，連接至中心齒輪并且被配置成相對(duì)所于述中心齒輪旋轉(zhuǎn)和平移；以及環(huán)繞所述至少一個(gè)外圍齒輪并且與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的環(huán)。所述磁性裝置進(jìn)一步包括與所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)連接的磁性組件，所述磁性組件包括與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的支撐件，所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸與連接所述支撐件的至少一個(gè)外圍齒輪的旋轉(zhuǎn)軸同軸。本發(fā)明專利技術(shù)還公開(kāi)了具有周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的磁性組件及其使用方法。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
【專利摘要】本專利技術(shù)公開(kāi)了包括周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的磁性裝置。所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)包括被配置成旋轉(zhuǎn)的中心齒輪；至少一個(gè)外圍齒輪，連接至中心齒輪并且被配置成相對(duì)所于述中心齒輪旋轉(zhuǎn)和平移；以及環(huán)繞所述至少一個(gè)外圍齒輪并且與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的環(huán)。所述磁性裝置進(jìn)一步包括與所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)連接的磁性組件，所述磁性組件包括與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的支撐件，所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸與連接所述支撐件的至少一個(gè)外圍齒輪的旋轉(zhuǎn)軸同軸。本專利技術(shù)還公開(kāi)了。【專利說(shuō)明】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體
，更具體地，涉及。
技術(shù)介紹
半導(dǎo)體器件的制造包括互連結(jié)構(gòu)以在半導(dǎo)體器件中的有源部件之間提供電連接。互連結(jié)構(gòu)通過(guò)在介電材料中建立用于通孔和線路的開(kāi)口來(lái)形成。然后，金屬層沉積在開(kāi)口中以形成導(dǎo)電路徑來(lái)提供有源部件之間的電連接。物理汽相沉積(PVD)或者濺射是將金屬層沉積到互連結(jié)構(gòu)的有效手段。通過(guò)以下方式實(shí)施濺射:將氣體引入濺射室并點(diǎn)燃?xì)怏w以形成等離子體。然后，等離子體被定向到包括將沉積在晶圓或者襯底上的金屬材料的靶上。等離子體從靶處物理地遷移原子或原子團(tuán)。通過(guò)對(duì)晶圓置于其上的支撐件施加偏壓來(lái)使原子被吸引到晶圓或者襯底。原子接觸晶圓，從而在晶圓的暴露表面上形成金屬層。磁性組件設(shè)置在靶的遠(yuǎn)離晶圓的一側(cè)，其用于使靶表面上方的等離子體散開(kāi)。磁性組件包括若干磁體，這些磁體形成吸引等離子體的磁場(chǎng)以在靶的表面附近增加等離子體的密度。濺射速率與等離子體密度直接相關(guān)。在傳統(tǒng)技術(shù)中，磁性組件繞著室中心的軸旋轉(zhuǎn)。磁性組件的旋轉(zhuǎn)改變磁場(chǎng)的位置，從而改變較高等離子體密度的位置。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為了解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的問(wèn)題，根據(jù)本專利技術(shù)的一個(gè)方面，提供了一種磁性裝置，包括:周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)，所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)包括:被配置成旋轉(zhuǎn)的中心齒輪；至少一個(gè)外圍齒輪，連接至所述中心齒輪并且被配置成相對(duì)于所述中心齒輪旋轉(zhuǎn)和平移；和環(huán)，環(huán)繞所述至少一個(gè)外圍齒輪并且與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接；以及磁性組件，與所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)連接，所述磁性組件包括:與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的支撐件，所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸與連接所述支撐件的所述至少一個(gè)外圍齒輪的旋轉(zhuǎn)軸同軸； 和多個(gè)磁體，附接至所述支撐件的與所述外圍齒輪相對(duì)的面上，所述多個(gè)磁體包括具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第一極的至少一個(gè)第一磁體以及具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第二極的至少一個(gè)第二磁體。在可選實(shí)施例中，所述中心齒輪的旋轉(zhuǎn)軸與所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸間隔開(kāi)大約20_和大約40mm之間的距離。在可選實(shí)施例中，所述多個(gè)磁體為永磁體。在可選實(shí)施例中，所述多個(gè)磁體中的至少一個(gè)可相對(duì)于所述支撐件移動(dòng)。在可選實(shí)施例中，所述磁性組件進(jìn)一步包括平衡錘。在可選實(shí)施例中，所述磁性組件的邊緣延伸經(jīng)過(guò)所述中心齒輪的旋轉(zhuǎn)軸。在可選實(shí)施例中，所述多個(gè)磁體在所述支撐件上以非對(duì)稱布置方式分布。根據(jù)本專利技術(shù)的另一個(gè)方面，還提供了一種濺射組件，包括:濺射室，被配置成接收氣體；磁性裝置，位于所述濺射室一端，所述磁性裝置包括:周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)，所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)包括:被配置成旋轉(zhuǎn)的中心齒輪；至少一個(gè)外圍齒輪，連接至所述中心齒輪并且被配置成相對(duì)于所述中心齒輪旋轉(zhuǎn)和平移；和環(huán)，環(huán)繞所述至少一個(gè)外圍齒輪并且與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接；以及磁性組件，與所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)連接，所述磁性組件包括:與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的支撐件，所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸與連接所述支撐件的所述至少一個(gè)外圍齒輪的旋轉(zhuǎn)軸同軸；和多個(gè)磁體，附接至所述支撐件的與所述外圍齒輪相對(duì)的面上，所述多個(gè)磁體包括具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第一極的至少一個(gè)第一磁體以及具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第二極的至少一個(gè)第二磁體；晶圓支撐件，位于所述濺射室的遠(yuǎn)離所述磁性裝置的端部；以及靶，設(shè)置所述濺射室中并且位于所述晶圓支撐件和所述磁性裝置之間。在可選實(shí)施例中，所述中心齒輪的旋轉(zhuǎn)軸與所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸間隔開(kāi)大約20_和大約40mm之間的距離。`在可選實(shí)施例中，所述氣體包括氬氣、氧氣或者氮?dú)狻Ｔ诳蛇x實(shí)施例中，所述靶包括鋁、銅、鈦、鉭或者它們的合金。在可選實(shí)施例中，所述磁性組件進(jìn)一步包括平衡錘。在可選實(shí)施例中，所述磁性組件的邊緣延伸經(jīng)過(guò)所述中心齒輪的旋轉(zhuǎn)軸。 在可選實(shí)施例中，所述多個(gè)磁體的至少一個(gè)可相對(duì)于所述支撐件移動(dòng)。在可選實(shí)施例中，所述濺射組件進(jìn)一步包括位于所述靶和所述磁性裝置之間的上電極，所述上電極被配置成點(diǎn)燃所述氣體以形成等離子體。根據(jù)本專利技術(shù)的又一方面，還提供了一種使用濺射室的方法，包括:將氣體引入所述濺射室；點(diǎn)燃所述氣體以形成等離子體；使用所述等離子體濺射靶的一部分；將所述靶的濺射出的部分沉積在晶圓上；以及使用磁性裝置控制所述靶周圍的磁場(chǎng)，所述磁性裝置包括:周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)，所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)包括:被配置成旋轉(zhuǎn)的中心齒輪；至少一個(gè)外圍齒輪，連接至所述中心齒輪并且被配置成相對(duì)于所述中心齒輪旋轉(zhuǎn)和平移；和環(huán)，環(huán)繞所述至少一個(gè)外圍齒輪并且與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接；以及磁性組件，與所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)連接，所述磁性組件包括:與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的支撐件，所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸與連接所述支撐件的所述至少一個(gè)外圍齒輪的旋轉(zhuǎn)軸同軸；和多個(gè)磁體，附接至所述支撐件的與所述外圍齒輪相對(duì)的面上，所述多個(gè)磁體包括具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第一極的至少一個(gè)第一磁體以及具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第二極的至少一個(gè)第二磁體。 在可選實(shí)施例中，控制所述靶周圍的所述磁場(chǎng)進(jìn)一步包括:相對(duì)于所述支撐件移動(dòng)所述多個(gè)磁體中的至少一個(gè)。在可選實(shí)施例中，點(diǎn)燃所述氣體包括:對(duì)位于所述磁性裝置和所述靶之間的上電極施加直流電壓。在可選實(shí)施例中，控制所述磁場(chǎng)包括:以大約80轉(zhuǎn)/每分鐘(rpm)和IIOrpm之間的速度旋轉(zhuǎn)所述中心齒輪。在可選實(shí)施例中，控制所述磁場(chǎng)包括使用所述磁性裝置，所述磁性裝置進(jìn)一步包括所述中心齒輪的旋轉(zhuǎn)軸與所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸間隔開(kāi)大約20mm和大約40mm之間的距離。【專利附圖】【附圖說(shuō)明】附圖中的圖示出了一種或者多種實(shí)施例但不限于此，其中具有相同標(biāo)號(hào)的元件指代相同的元件。應(yīng)該強(qiáng)調(diào)的是，根據(jù)工業(yè)中的標(biāo)準(zhǔn)實(shí)踐，各種部件可以不按比例繪制并且僅僅用于說(shuō)明的目的。實(shí)際上，為了清楚的討論，繪圖中各種部件的尺寸可以被任意增加或減少。圖1是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的附接至周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的磁性組件的立體圖；圖2是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的附接至周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的磁性組件的仰視圖；圖3是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的附接至周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的磁性組件的側(cè)視圖；圖4是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的磁性組件的立體圖；圖5是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的操作期間磁性組件上的磁體的路徑軌跡；圖6是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的濺射組件的示意圖；圖7是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的濺射室的頂部的截面圖；以及圖8是根據(jù)一種或者多種實(shí)施例的使用濺射組件的方法流程圖。【具體實(shí)施方式】下列的公開(kāi)提供了用于實(shí)施本專利技術(shù)不同部件的許多不同的實(shí)施例，或者實(shí)例。下面描述部件和布置的具體實(shí)例以簡(jiǎn)化本專利技術(shù)。這些僅是實(shí)例并不旨在限制本專利技術(shù)。圖1是附接至周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)200的磁性組件100的立體圖。磁性組件100包括附接至背離周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)200的表面的磁體布置。周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)還稱為行星齒輪系統(tǒng)。周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)200包括配置成接收周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)的齒輪的支撐結(jié)構(gòu)201。中心齒輪202 (也稱為太陽(yáng)輪)可旋轉(zhuǎn)地附接至支撐結(jié)構(gòu)201本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種磁性裝置，包括：周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)，所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)包括：被配置成旋轉(zhuǎn)的中心齒輪；至少一個(gè)外圍齒輪，連接至所述中心齒輪并且被配置成相對(duì)于所述中心齒輪旋轉(zhuǎn)和平移；和環(huán)，環(huán)繞所述至少一個(gè)外圍齒輪并且與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接；以及磁性組件，與所述周轉(zhuǎn)齒輪系統(tǒng)連接，所述磁性組件包括：與所述至少一個(gè)外圍齒輪連接的支撐件，所述支撐件的旋轉(zhuǎn)軸與連接所述支撐件的所述至少一個(gè)外圍齒輪的旋轉(zhuǎn)軸同軸；和多個(gè)磁體，附接至所述支撐件的與所述外圍齒輪相對(duì)的面上，所述多個(gè)磁體包括具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第一極的至少一個(gè)第一磁體以及具有離所述支撐件最遠(yuǎn)的第二極的至少一個(gè)第二磁體。

【技術(shù)特征摘要】
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【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：闕嘉良，劉旭水，白峻榮，陳培儂，汪業(yè)杰，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：