一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)制造技術(shù)

本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)提供一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，該焊盤(pán)結(jié)構(gòu)包含若干個(gè)以列陣形式排列的焊盤(pán)單元；焊盤(pán)單元包含設(shè)置在其邊緣的框體，以及設(shè)置在該框體內(nèi)的一個(gè)或若干個(gè)條狀體。本發(fā)明專(zhuān)利技術(shù)的焊盤(pán)采用框體及其內(nèi)部的條狀體組合的結(jié)構(gòu)，提高了焊盤(pán)的強(qiáng)度，使得不需要增加焊盤(pán)厚度，即可滿(mǎn)足進(jìn)行銅線(xiàn)壓焊打線(xiàn)的強(qiáng)度要求，同時(shí)這種鏤空的框架結(jié)構(gòu)在提高焊盤(pán)強(qiáng)度的同時(shí)，也減少了制成焊盤(pán)所需的材料，節(jié)省成本，提高產(chǎn)品良率。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)
本專(zhuān)利技術(shù)涉及一種半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的制造工藝，具體涉及一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
目前，在半導(dǎo)體行業(yè)中通常采用金線(xiàn)來(lái)進(jìn)行打線(xiàn)（WireBond）的工藝。如圖1和圖2所示，通常在采用金線(xiàn)來(lái)進(jìn)行打線(xiàn)時(shí)，金線(xiàn)焊壓在頂部金屬（Topmetal）上，該頂部金屬（Topmetal）和頂部-1金屬（Top-1metal）即為鋁焊盤(pán)（ALPAD）。頂部金屬（Topmetal）與頂部-1金屬（Top-1metal）之間則通過(guò)鎢焊盤(pán)（PAD）實(shí)現(xiàn)兩層金屬的連接，該焊盤(pán)（PAD）可采用設(shè)有導(dǎo)通孔列陣（WVIAholearray）的結(jié)構(gòu)，或者也可以采用一整塊實(shí)心結(jié)構(gòu)的鎢焊盤(pán)（WPAD）。在打線(xiàn)焊壓區(qū)域，鎢制的焊盤(pán)（PAD）起到頂部金屬（Topmetal）與頂部-1金屬（Top-1metal）之間線(xiàn)路連接導(dǎo)通和支撐作用。在芯片其它區(qū)域中焊盤(pán)（PAD）采用鎢通孔（WVIAhole）的結(jié)構(gòu)，只起到線(xiàn)路連接導(dǎo)通作用。為節(jié)省成本，現(xiàn)在已經(jīng)開(kāi)始逐漸使用銅線(xiàn)來(lái)代替金線(xiàn)進(jìn)行打線(xiàn)（WireBond）的工藝?，F(xiàn)有技術(shù)中，在采用銅線(xiàn)（copper）焊壓打線(xiàn)時(shí)，需要增加鋁焊盤(pán)（ALPAD），即頂部金屬（Topmetal），的厚度，來(lái)滿(mǎn)足銅線(xiàn)打線(xiàn)時(shí)，其對(duì)焊盤(pán)所要求的高強(qiáng)度。其缺點(diǎn)在于，增加鋁焊盤(pán)的厚度，導(dǎo)致提高設(shè)計(jì)規(guī)則中金屬間隔的距離，需要在版圖設(shè)計(jì)時(shí)改變和采用間距更大的設(shè)計(jì)規(guī)則；如果不增加鋁焊盤(pán)（ALPAD），即頂部金屬（Topmetal），的厚度，頂部金屬（Topmetal）與頂部-1金屬（Top-1metal）之間的通孔列陣結(jié)構(gòu)（WVIAholearray）的鎢焊盤(pán)具有比較弱的支撐能力，不能提供銅線(xiàn)（copper）焊壓所需的高強(qiáng)度。若頂部金屬（Topmetal）與頂部-1金屬（Top-1metal）之間采用一整塊實(shí)心的結(jié)構(gòu)的鎢焊盤(pán)，提高了焊盤(pán)強(qiáng)度，但由于在生產(chǎn)中曝光面積過(guò)大，顯影后的殘余物質(zhì)容易掉到芯片其它位置而在蝕刻時(shí)影響通孔（VIAhole）的生成，導(dǎo)致頂部金屬的連線(xiàn)與頂部-1金屬的連線(xiàn)不能連通，影響產(chǎn)品的良率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專(zhuān)利技術(shù)提供一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，提供銅線(xiàn)打線(xiàn)中焊盤(pán)所需要的高強(qiáng)度，節(jié)省了成本，不影響產(chǎn)品的良率。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專(zhuān)利技術(shù)提供一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特點(diǎn)是，該焊盤(pán)結(jié)構(gòu)包含若干個(gè)以列陣形式排列的焊盤(pán)單元；上述的焊盤(pán)單元包含設(shè)置在其邊緣的框體，以及設(shè)置在該框體內(nèi)的一個(gè)或若干個(gè)條狀體。上述的框體設(shè)為矩形。若干個(gè)上述的條狀體分別平行于框體上的任意一條邊。若干個(gè)上述的條狀體相互平行設(shè)置；相互平行的上述條狀體之間均勻間隔設(shè)置。若干個(gè)上述的條狀體包含若干個(gè)相互平行的橫向條狀體和若干個(gè)相互平行的縱向條狀體；上述的橫向條狀體與縱向條狀體相互垂直設(shè)置；相互平行的上述條狀體之間均勻間隔設(shè)置。相鄰兩個(gè)上述焊盤(pán)單元之間，其相對(duì)應(yīng)的條狀體相互垂直設(shè)置。相鄰兩個(gè)上述焊盤(pán)單元之間，其相對(duì)應(yīng)的橫向條狀體或縱向條狀體相互垂直設(shè)置。上述的框體上設(shè)有若干對(duì)開(kāi)口，若干對(duì)該開(kāi)口分別對(duì)稱(chēng)設(shè)置，其對(duì)稱(chēng)中心為框體的中心。相鄰兩個(gè)上述焊盤(pán)單元之間，其相對(duì)應(yīng)開(kāi)口的開(kāi)口方向垂直設(shè)置。該焊盤(pán)結(jié)構(gòu)中若干上述的焊盤(pán)單元以N×N的列陣形式排列，N為該列陣的行或列中所包含的焊盤(pán)單元的數(shù)目。本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)和現(xiàn)有技術(shù)中用于銅金屬壓焊的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)相比，其優(yōu)點(diǎn)在于，本專(zhuān)利技術(shù)的焊盤(pán)采用框體及其內(nèi)部的條狀體組合的結(jié)構(gòu)，提高了焊盤(pán)的強(qiáng)度，使得不需要增加焊盤(pán)厚度，即可滿(mǎn)足進(jìn)行銅線(xiàn)壓焊打線(xiàn)的強(qiáng)度要求，同時(shí)這種鏤空的框架結(jié)構(gòu)在提高焊盤(pán)強(qiáng)度的同時(shí)，也減少了制成焊盤(pán)所需的材料，節(jié)省成本。附圖說(shuō)明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中金線(xiàn)打線(xiàn)時(shí)所采用的導(dǎo)通孔列陣結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中金線(xiàn)打線(xiàn)時(shí)所采用的一整塊實(shí)心焊盤(pán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的實(shí)施例一的俯視圖；圖4為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的圖3中A-A面的截面圖；圖5為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的圖4中B-B面的截面圖；圖6為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的實(shí)施例二的俯視圖；圖7為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的圖6中C-C面的截面圖；圖8為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例四的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例五的結(jié)構(gòu)示意圖；圖11為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例六的結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例七的結(jié)構(gòu)示意圖；圖13為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例八的結(jié)構(gòu)示意圖；圖14為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例九的結(jié)構(gòu)示意圖；圖15為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的焊盤(pán)單元的實(shí)施例十的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖，進(jìn)一步說(shuō)明本專(zhuān)利技術(shù)的具體實(shí)施例。如圖3所示，為本專(zhuān)利技術(shù)一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)的實(shí)施例一，該焊盤(pán)結(jié)構(gòu)包含64個(gè)以列陣形式排列的焊盤(pán)單元1。該焊盤(pán)結(jié)構(gòu)中的64個(gè)焊盤(pán)單元1以N×N的列陣形式排列，N為所述列陣的行或列中所包含的焊盤(pán)單元1的數(shù)目，本實(shí)施例中N為8。焊盤(pán)單元1包含設(shè)置在其邊緣的矩形的框體12，以及設(shè)置在該框體12內(nèi)的一個(gè)條狀體11。本實(shí)施例一的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)中，位于左起第一列、上起第一行的焊盤(pán)單元1中，其條狀體11橫向設(shè)置，且平行于框體12的一對(duì)橫向?qū)?。其框體12上設(shè)有一對(duì)開(kāi)口121，該對(duì)開(kāi)口121對(duì)稱(chēng)設(shè)置，其對(duì)稱(chēng)中心為框體12的中心。該對(duì)開(kāi)口121分別靠近框體12的左下、右上的對(duì)角設(shè)置，且設(shè)置在框體12的一對(duì)縱向邊上，該對(duì)開(kāi)口121的開(kāi)口方向?yàn)闄M向。本實(shí)施例一的焊盤(pán)結(jié)構(gòu)中，相鄰兩個(gè)焊盤(pán)單元1之間，以框體12的中心為旋轉(zhuǎn)中心相互旋轉(zhuǎn)90度設(shè)置，以此類(lèi)推。即相鄰兩個(gè)焊盤(pán)單元1之間，其相對(duì)應(yīng)的條狀體11相互垂直設(shè)置，同時(shí)，其框體12上相對(duì)應(yīng)的開(kāi)口121的開(kāi)口方向垂直設(shè)置。另，每一個(gè)焊盤(pán)單元1沿橫向和縱向相鄰的焊盤(pán)單元1，都與其之間旋轉(zhuǎn)90度設(shè)置。例如：位于左起第一列、上起第一行的焊盤(pán)單元1中，其條狀體11、開(kāi)口121方向都橫向設(shè)置。其沿橫向相鄰的焊盤(pán)單元1（位于左起第二列、上起第一行）的條狀體11、開(kāi)口121方向都縱向設(shè)置。同時(shí)，其沿縱向相鄰的焊盤(pán)單元1（位于左起第一列、上起第二行）的條狀體11、開(kāi)口121方向也都縱向設(shè)置。本實(shí)施例一中，條狀體11寬度大于最小設(shè)計(jì)尺寸（達(dá)到曝光機(jī)能曝開(kāi)的要求即可），小于一定厚度的鎢填充需求。如果采用0.3um厚的鎢填充條狀體11，條狀體11的寬度大于0.6um時(shí)，就不能把條狀體11填滿(mǎn)，中間有縫隙。所以在這種情況下，條狀體11寬度設(shè)為0.2um~0.6um。條狀體11寬度范圍會(huì)根據(jù)曝光機(jī)的能力和鎢厚度的不同而變化。條狀體11與框體12之間，或者若干條狀體11相互間的間距最好在1um以上。若條狀體11寬度太細(xì)或條狀體11分布太疏會(huì)降低條狀體11對(duì)頂部金屬（Topmetal），即鋁焊盤(pán)（ALPAD），的支撐能力。框體12的長(zhǎng)短根據(jù)條狀體11數(shù)量而定，框體12與條狀體11間距，或本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，該焊盤(pán)結(jié)構(gòu)包含若干個(gè)以列陣形式排列的焊盤(pán)單元（1）；所述的焊盤(pán)單元（1）包含設(shè)置在其邊緣的框體（12），以及設(shè)置在該框體（12）內(nèi)的一個(gè)或若干個(gè)條狀體（11）。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，該焊盤(pán)結(jié)構(gòu)包含若干個(gè)以列陣形式排列的焊盤(pán)單元（1）；所述的焊盤(pán)單元（1）包含設(shè)置在其邊緣的框體（12），以及設(shè)置在該框體（12）內(nèi)的一個(gè)或若干個(gè)條狀體（11）；所述的框體（12）上設(shè)有若干對(duì)開(kāi)口（121），若干對(duì)所述的開(kāi)口（121）分別對(duì)稱(chēng)設(shè)置，其對(duì)稱(chēng)中心為框體（12）的中心。2.如權(quán)利要求1所述的一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的框體（12）設(shè)為矩形。3.如權(quán)利要求2所述的一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，若干個(gè)所述的條狀體（11）分別平行于所述框體（12）上的任意一條邊。4.如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于，若干個(gè)所述的條狀體（11）相互平行設(shè)置；相互平行的所述條狀體（11）之間均勻間隔設(shè)置。5.如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的一種用于銅金屬壓焊的新型焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，其...

【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：康軍，許丹，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司，
類(lèi)型：發(fā)明
國(guó)別省市：