光掩模貼膜工序用的板夾制造技術(shù)

本實(shí)用新型專利技術(shù)提供一種光掩模貼膜工序用的板夾。所述光掩模貼膜工序用的板夾至少包括：具有三條邊的框體，其兩自由端分別設(shè)置有夾持光掩模的夾持部件，且在該框體的一邊角設(shè)置有手持部件。由于夾持部件設(shè)置在邊角，既可滿足目檢時(shí)的夾持要求，亦可有效防止將光掩模放入貼膜機(jī)時(shí)所帶來(lái)的灰塵墜落問(wèn)題，進(jìn)而有效提高光掩模產(chǎn)品的成品率。（*該技術(shù)在2023年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
光掩模貼膜工序用的板夾
本技術(shù)涉及半導(dǎo)體工序領(lǐng)域，特別是涉及一種光掩模貼膜工序用的板夾。
技術(shù)介紹
在現(xiàn)有光掩模貼膜工序中，需要用板夾夾持光掩模放入貼膜機(jī)內(nèi)。現(xiàn)常用的板夾有兩種，一種是“Y”型。如圖1所示，其為一種優(yōu)選“Y”型板夾示意圖。該板夾I包括夾持部件11及手持部件12。當(dāng)需要將光掩模2貼膜時(shí)，操作人員手握處于上方的手持部件12，將夾設(shè)在兩夾持部件11之間的光掩模2放入貼膜機(jī)內(nèi)。由于手持部件12在上,光掩模2在下，因此在操作時(shí)，操作人員的手及衣袖等均位于光掩模2的上方，會(huì)造成人體上大量的灰塵掉落在光掩模2上，由此會(huì)對(duì)光掩模產(chǎn)品的成品率產(chǎn)生很大的影響。此外，常用的另一種板夾呈“I”型。如圖2所示，其為一種優(yōu)選“I”型板夾示意圖。該“I”型板夾I’包括桿體13’、設(shè)置在所述桿體13’上的夾持部件11’、以及連接在所述桿體13’ 一端側(cè)的手持部件12’。光掩模2’需要貼膜時(shí)，操作人員手握所述手持部件12’，將夾設(shè)在兩夾持部件11’之間的光掩模2’放入貼膜機(jī)內(nèi)進(jìn)行貼膜。該“I”型板夾在光掩模裝入時(shí)雖然可以避免人體上灰塵的掉落對(duì)光掩模的影響，但卻因?yàn)槠涞臈U體橫跨在光掩模上方，如圖2所示，由此會(huì)對(duì)光掩模的目視預(yù)檢帶來(lái)很大障礙，使操作人員無(wú)法預(yù)先發(fā)現(xiàn)已經(jīng)存在的可目檢出的缺陷，同樣會(huì)影響光掩模產(chǎn)品的成品率。因此，需要對(duì)現(xiàn)有光掩模貼膜工序中所使用的板夾進(jìn)行改進(jìn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本技術(shù)的目的在于提供一種光掩模貼膜工序用的板夾，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中阻礙視線及灰塵墜落至光掩模的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本技術(shù)提供一種光掩模貼膜工序用的板夾，其至少包括:具有三條邊的框體，其兩自由端分別設(shè)置有夾持光掩模的夾持部件，且在該框體的一邊角設(shè)置有手持部件。優(yōu)選地，每一夾持部件所在的框體邊均彎折成多段；更為優(yōu)選地，每一夾持部件所在的框體邊均彎折成3段。優(yōu)選地，所述手持部件呈夾具狀；更為優(yōu)選地，手持部件夾固于框體的邊角。優(yōu)選地，所述框體的材質(zhì)包括不銹鋼。優(yōu)選地，夾持部件夾固于自由端。優(yōu)選地，所述夾持部件及手持部件的材質(zhì)包括聚四氟乙烯。如上所述，本技術(shù)的光掩模貼膜工序用的板夾，具有以下有益效果:既可滿足目檢時(shí)的夾持要求，亦可有效防止將光掩模放入貼膜機(jī)時(shí)所帶來(lái)的灰塵墜落問(wèn)題，有效提升光掩模產(chǎn)品的成品率【附圖說(shuō)明】圖1顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的“Y”型板夾的示意圖。圖2顯示為現(xiàn)有技術(shù)中的“ I ”型板夾的示意圖。圖3a顯示為本技術(shù)的光掩模貼膜工序用的板夾的立體圖。圖3b顯示為本技術(shù)的光掩模貼膜工序用的板夾的局部示意圖。圖3c顯示為本技術(shù)的光掩模貼膜工序用的板夾的俯視圖及局部示意圖。圖3d顯示為本技術(shù)的光掩模貼膜工序用的板夾的正視圖。元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明1，1’板夾11,11’ 夾持部件12，12’ 手持部件13’桿體2,2’光掩模3板夾31框體32夾持部 件33手持部件【具體實(shí)施方式】以下由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本技術(shù)的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說(shuō)明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本技術(shù)的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。請(qǐng)參閱圖3a至3d。須知，本說(shuō)明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說(shuō)明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本技術(shù)可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本技術(shù)所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本技術(shù)所揭示的
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說(shuō)明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語(yǔ)，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本技術(shù)可實(shí)施的范圍，其相對(duì)關(guān)系的改變或調(diào)整，在無(wú)實(shí)質(zhì)變更
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
下，當(dāng)亦視為本技術(shù)可實(shí)施的范疇。如圖3a至3d所示，本技術(shù)提供一種光掩模貼膜工序用的板夾。所述板夾3至少包括:框體31、夾持部件32、及手持部件33。所述框體31包含3條邊，相對(duì)的兩條側(cè)邊彎折成成多段，例如3段，具體參見圖3b，由此使得框體31的橫邊高于光掩模所在的平面，以保證在整個(gè)貼膜過(guò)程中，盡可能避免板夾處在光掩模正上方，從而避免板夾上可能存在的灰塵跌落在光掩模上。優(yōu)選地，所述框體31可采用不銹鋼材質(zhì)來(lái)形成。所述夾持部件32設(shè)置在所述框體31相對(duì)的兩條側(cè)邊的自由端，用于夾持光掩模4，優(yōu)選地，夾持部件32夾固于自由端。優(yōu)選地，所述夾持部件32可采用聚四氟乙烯(PTFE)材質(zhì)來(lái)形成。所述手持部件33設(shè)置在所述框體31的一邊角，優(yōu)選地，其夾固于所述框體31的邊角上，更為優(yōu)選地，其呈夾具狀，便于操作人員手握作業(yè)。優(yōu)選地，所述手持部件33也可采用聚四氟乙烯(PTFE)材質(zhì)來(lái)形成。當(dāng)需要對(duì)光掩模進(jìn)行貼膜時(shí)，先采用夾持部件32夾持光掩模，隨后操作人員手握手持部件33，通過(guò)板夾3將所述光掩模放入貼膜機(jī)內(nèi)，由于手持部件33設(shè)置在框體31的邊角，且框體31的橫邊高于光掩模所在的平面，故不會(huì)阻擋操作人員的視線，由此既可滿足目檢時(shí)的夾持要求，亦可有效防止將光掩模放入貼膜機(jī)時(shí)所帶來(lái)的灰塵墜落問(wèn)題，進(jìn)而有效提升光掩模產(chǎn)品的成品率。所以，本技術(shù)有效克服了現(xiàn)有技術(shù)中的種種缺點(diǎn)而具高度產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值。上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本技術(shù)的原理及其功效，而非用于限制本技術(shù)。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本技術(shù)的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬
中具有通常知識(shí)者在未脫離本技術(shù)所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本技術(shù)的權(quán)利要求所涵蓋。本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種光掩模貼膜工序用的板夾，其特征在于，所述光掩模貼膜工序用的板夾至少包括：具有三條邊的框體，其兩自由端分別設(shè)置有夾持光掩模的夾持部件，且在該框體的一邊角設(shè)置有手持部件。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種光掩模貼膜工序用的板夾，其特征在于，所述光掩模貼膜工序用的板夾至少包括: 具有三條邊的框體，其兩自由端分別設(shè)置有夾持光掩模的夾持部件，且在該框體的一邊角設(shè)直有手持部件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩模貼膜工序用的板夾，其特征在于:每一夾持部件所在的框體邊均彎折成多段。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光掩模貼膜工序用的板夾，其特征在于:每一夾持部件所在的框體邊均彎折成3段。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光掩模貼...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：成立炯，俞子華，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海凸版光掩模有限公司，
類型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：