【技術實現步驟摘要】
一種用于藍寶石加工過程中的退火方法
本專利技術涉及一種用于藍寶石加工過程中的退火方法。技術背景藍寶石（sapphire）組成為氧化鋁(Al2O3)，是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鍵型式結合而成,其晶體結構為六方晶格結構。它常被應用的切面有A-Plane,C-Plane及R-Plane。由于藍寶石的光學穿透帶很寬,從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性。因此被大量用在光學元件上，它具有高聲速、耐高溫、抗腐蝕、高硬度、高透光性、熔點高（2045℃）等特點，因此常被用來作為光電元件的材料，但藍寶石是一種相當難加工的材料。人工生長的藍寶石具有很好的耐磨性，硬度僅次于金剛石達到莫氏9級，同時藍寶石致密性使其具有較大的表面張力，上述兩個特性十分適用于手機等電子觸摸面板。但是人工生長的藍寶石同時藍寶石薄片脆性較高，抗沖擊性較低的缺點也限制了其使用范圍。人工生長的晶體有較大的應力，具有一個對稱的開裂面，稍加敲擊即會自行碎裂，不利于任意切割加工，為了滿足光學器件的特殊需求，對晶體退火是必不可少的。現藍寶石加工過程中，常使用的退火工藝有的分階段升溫降溫，溫控程序復雜并且周期冗長；還有的沒有完全褪去寶石在加工過程中產生的應力，導致后期加工不良，這些退火工藝或者是增加了生產成本或者是降低了寶石晶片的良品率。
技術實現思路
在藍寶石加工過程中，研磨會造成較大的應力，產品翹曲度增大，使拋光難度大大增加，本專利技術針對上述現有技術的不足，提供了一種方便實用的藍寶石加工過程中的退火方法，主要用于切割、研磨后的藍寶石晶片。對藍寶石晶片進行此退火處理，可以有效去除切割、研磨過...
【技術保護點】
一種用于藍寶石加工過程中的退火方法，其特征在于所述退火方法由以下步驟組成：步驟一，將藍寶石晶體置于退火爐中，封閉爐腔；抽真空去除爐腔內空氣以及混有的雜質，并且持續充入純氮氣進行保護，氮氣流量穩定在5~10L/min；步驟二，逐步升溫8小時至1450℃，升溫速比3℃/min,在此升溫速率下，晶體受熱較均勻，達到設定溫度，?步驟三，保持溫度在1450℃?持續8小時；步驟四，設定緩慢降溫，降溫速比1.25℃/min?，程序設定降溫16小時從1450℃至250℃，到250℃后，程序關閉，爐內仍舊持續充入氮氣，降溫至150℃，關閉氮氣，開爐自然冷卻。
【技術特征摘要】
1.一種用于藍寶石加工過程中的退火方法，其特征在于所述退火方法由以下步驟組成：步驟一，將藍寶石晶體置于退火爐中，封閉爐腔；抽真空去除爐腔內空氣以及混有的雜質，并且持續充入純氮氣進行保護，氮氣流量穩定在6L/min；步驟二，逐步升溫8小時至1450℃，升溫速比3℃/min,在此升溫速率下，晶體受熱較均勻，達到設定溫度；步驟三，保持溫度在1450℃持續8小時；步驟四，設定緩慢降溫，降溫速比1.25℃/min，程序設定降溫16小時從1450℃至2...
【專利技術屬性】
技術研發人員：吳云才，
申請(專利權)人：浙江上城科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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