顯微觀察用光學裝置制造方法及圖紙

顯微觀察用光學裝置（4）是使來自樣本（S）的紅外光入射至攝像機（3）的光學裝置，具備：冷屏（13），其是具有對應于低倍率的顯微光學系統（5）的開口（13d、13e）且使來自樣本（S）的光通過至攝像機（3）的配置于真空容器（12）內的光圈構件；暖屏（10），其是具有對應于高倍率的顯微光學系統（5）的開口（14）且使來自樣本（S）的光向冷屏（13）通過的配置于真空容器（12）外的光圈構件；以及支撐構件（11），其將暖屏（10）能夠出入地支撐于來自樣本（S）的光的光軸上；暖屏（10）在攝像機（3）側具有反射面（15），開口（14）小于開口（13d、13e）。

【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】顯微觀察用光學裝置
本專利技術涉及用于放大來自物體的光來進行觀察的顯微觀察用光學裝置。
技術介紹
一直以來，使用用于觀察來自物體的紅外線等的特定波長的光的光學裝置。在這樣的光學裝置中，設置有抑制來自物體以外的光的影響那樣的結構。例如在下述專利文獻I中，公開有具有切片(segment)化了的環狀暖罩(warm shield)的紅外線檢測裝置。在該紅外線檢測裝置，在包圍紅外線檢測器的冷罩(Cold Shield)的前面設置有真空窗，在該真空窗的前方配置有3個環狀反射構件。這些環狀反射構件在中心形成有開口，這些開口以相對于檢測裝置的中心軸位于對象的方式并列配置于中心軸上。各個開口的大小根據紅外線檢測器所檢測的光學像的直徑設定。另外，這些環狀反射構件的內側的面形成環狀面。另外，在下述專利文獻2中，公開有用于經由交換透鏡使來自物體的紅外光入射至檢測元件的紅外線光學裝置，該紅外線光學裝置具備設置于檢測元件的周圍的杜瓦瓶、以及設置于杜瓦瓶的外部的2個鏡孔徑(miiTor aperture)，這些鏡孔徑能夠沿著交換透鏡的光軸移動。在該鏡孔徑的內側設置有鏡面，來自物體的紅外光通過鏡孔徑的開口部而到達杜瓦瓶內的檢測元件，另一方面，從檢測元件看鏡面時僅看到冷卻了的部分、即檢測元件，因此，從物體以外放射的紅外光不入射至檢測元件。其結果，能夠實現良好的成像性能。專利文獻專利文獻1:美國專利第4，820, 923號專利文獻2:日本特開平6-160696號公報
技術實現思路
專利技術所要解決的問題然而，在上述專利文獻I所記載的紅外線檢測裝置中，配合冷罩的開口而設定環狀反射構件的開口的大小，因此，在切換配置于物體側的光學系統的倍率時，難以使對應于其倍率的像入射至檢測元件。另外，在上述專利文獻2所記載的紅外線光學裝置中，在交換物體側的交換透鏡時能夠通過沿著交換透鏡的光軸使鏡孔徑移動從而以倍率不同的各種數值孔徑的交換透鏡適當地觀察物體，但是，需要用于鏡孔徑的位置調整的機構，存在裝置大型化的趨勢。另夕卜，在交換對象的多個交換透鏡的像側數值孔徑的差大的情況下，需要加長鏡孔徑的可調整距離，因而存在裝置大型化的趨勢。因此，本專利技術是有鑒于該問題而完成的專利技術，其目的在于提供一種能夠將物體的觀察倍率切換為多個并且可以容易地實現裝置的小型化的顯微觀察用光學裝置。解決問題的技術手段為了解決上述問題，本專利技術的一個側面所涉及的顯微觀察用光學裝置，是使來自物體的光入射至攝像元件的顯微觀察用光學裝置，具備:冷屏(cold stop)，具有對應于具有第I倍率的所述物體側的光學系統的第I開口，使來自所述物體的光通過至所述攝像元件并配置于真空容器內；暖屏(warm stop)，具有對應于具有第2倍率的所述物體側的光學系統的第2開口，且是使來自所述物體的光向所述冷屏通過并配置于所述真空容器外的光圈構件；以及支撐構件，將所述暖屏能夠出入地支撐于來自所述物體側的光的光軸上；所述暖屏在所述攝像元件側具有反射面，第2開口小于第I開口。根據這樣的顯微觀察用光學裝置，在使用了設定為第I倍率的光學系統作為物體側的光學系統的情況下，通過從光軸上取下暖屏，從而來自物體的光通過具有對應于該光學系統的NA的第I開口的冷屏而被縮小并入射至攝像元件，因此，降低了由攝像元件得到的檢測像中的背景噪聲。再有，在使用了設定為第2倍率的光學系統作為物體側的光學系統的情況下，通過將具有對應于該光學系統的NA的第2開口的暖屏配置于光軸上，從而來自物體的光對應其光束而被縮小之后通過冷屏而入射至攝像元件。此處，第2開口小于第I開口，因此，即使將出入暖屏的支撐構件設置于真空容器的外側，也能夠對應于多個倍率的光學系統而降低背景噪聲，因此，支撐構件的構造簡單化。另外，該支撐構件設置于與光學系統的光軸相交的方向，因此，也容易地實現了支撐構件的小型化。其結果，對于多個觀察倍率的光學系統可以降低的背景噪聲并將物體的觀察倍率切換為多個，并且能夠容易地實現裝置的小型化。專利技術的效果根據本專利技術，對于多個觀察倍率的光學系統可以降低背景噪聲，并且能夠容易地實現裝置的小型化。【附圖說明】圖1是本專利技術的優選的一個實施方式所涉及的顯微裝置的概略構成圖。圖2是沿著中心軸線切斷圖1的顯微觀察用光學裝置4而進行表示的立體圖。圖3是沿著中心軸線切斷圖1的顯微觀察用光學裝置4而進行表示的立體圖。圖4是表示在取下了圖2的暖屏10后的顯微觀察用光學裝置4中來自樣本S的光束的入射狀態的平面圖。圖5是表示在插入有圖3的暖屏10的顯微觀察用光學裝置4中來自樣本S的光束的入射狀態的平面圖。圖6是圖2以及圖3的暖屏10的平面圖。圖7是表示相對于圖6的暖屏10的反射面15b的攝像元件16的觀測范圍的平面圖。圖8是表示由圖3的顯微觀察用光學裝置4設定的攝像元件16的觀測范圍的平面圖。圖9是表示本專利技術的第2實施方式所涉及的顯微觀察用光學裝置24的主要部分的平面圖。圖10是表示本專利技術的第3實施方式所涉及的顯微觀察用光學裝置44的主要部分的平面圖。圖11是表示本專利技術的第4實施方式所涉及的顯微觀察用光學裝置64的主要部分的平面圖。圖12是本專利技術的變形例的暖屏110的平面圖。圖13是本專利技術的其它的變形例的暖屏210的平面圖。圖14是本專利技術的其它的變形例的暖屏310的平面圖。圖15是本專利技術的其它的變形例的暖屏90的平面圖。【具體實施方式】以下，一邊參照附圖一邊對本專利技術所涉及的顯微觀察用光學裝置的優選的實施方式進行詳細的說明。再有，在附圖的說明中對相同或相當部分附加相同符號，省略重復的說明。[第I實施方式]圖1是本專利技術的第I實施方式所涉及的發光觀察用的顯微裝置I的概略構成圖。該圖所示的顯微裝置I由暗箱2、收納于暗箱2內的可檢測從樣本(物體)S發出的紅外光的攝像機(攝像元件)3、安裝于攝像機3的顯微觀察用光學裝置4、配置于與顯微觀察用光學裝置4 一體化了的攝像機3與樣本S之間的顯微光學系統5構成。該顯微光學系統5是用于以所期望的倍率將樣本S的紅外線像成像于攝像機3的光學系統，構成為內置比較低倍率的透鏡的宏(macro)光學系統7和內置與宏光學系統7的倍率相比較高倍率的透鏡的微(micro)光學系統8通過光學系統切換機構6而可切換地被支撐。通過這樣的顯微光學系統5，宏光學系統7以及微光學系統8的任一者以配置于樣本S與顯微觀察用光學裝置4之間的方式切換，由此，從樣本S發出的紅外線通過對應于所期望的倍率的對物(objective)光學系統而入射至攝像機3。顯微觀察用光學裝置4是用于組合于可檢測紅外線的攝像機3與切換其倍率而使樣本S的紅外線像成像于攝像機3的顯微光學系統5的光學裝置。圖2以及圖3是沿著中心軸線將顯微觀察用光學裝置4切斷而進行表示的立體圖。圖2表示將顯微光學系統5切換成宏光學系統7時的顯微觀察用光學裝置4的使用狀態，圖3表示將顯微光學系統5切換成微光學系統8時的顯微觀察用光學裝置4的使用狀態。顯微觀察用光學裝置4具備:將來自宏光學系統7以及微光學系統8的紅外線的光束分別成像的像面再成像的中繼透鏡9 ;作為用于縮小從中繼透鏡9側入射的光束的遮光性的光圈構件的暖屏(warm stop)10 ;將該暖屏10能夠出入地支撐于中繼透鏡9的光軸上的支撐構件11 ;大致圓柱狀的真本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種顯微觀察用光學裝置，其特征在于，是使來自物體的光入射至攝像元件的顯微觀察用光學裝置，具備：冷屏，具有對應于具有第1倍率的所述物體側的光學系統的第1開口，使來自所述物體的光通過至所述攝像元件并配置于真空容器內；暖屏，具有對應于具有第2倍率的所述物體側的光學系統的第2開口，且是使來自所述物體的光向所述冷屏通過并配置于所述真空容器外的光圈構件；以及支撐構件，將所述暖屏能夠出入地支撐于來自所述物體的光的光軸上，所述暖屏在所述攝像元件側具有反射面，所述第2開口小于所述第1開口。

【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】2011.06.30 JP 2011-145488;2011.12.27 JP 2011-28621.一種顯微觀察用光學裝置，其特征在于， 是使來自物體的光入射至攝像元件的顯微觀察用光學裝置， 具備: 冷屏，具有對應于具有第I倍率的所述物體側的光學系統的第I開口，使來自所述物體的光通過至所述攝像元件并配置于真空容器內； 暖屏，具有對應于具有第2倍率的所述物體側的光學系統的第2開口，且是使來自所述物體的光向所述冷屏通過并配置于所述真空容器外的光圈構件；以及支撐構件，將所述暖屏能夠出入地支撐于來自所述物體的光的光軸上， 所述暖屏在所述攝像元件側具有反射面， 所述第2開口小于所述第I開口。2.如權利要求1所述的顯微觀察用光學裝置，其特征在于， 所述第2倍率高于所述第I倍率。3.如權利要求1或2所述的顯微觀察用光學裝置，其特征在于， 所述支撐構件構成為在靠近所述真空容器的所述物體側的窗部的位置能夠使所述暖屏的所述第2開口出入。4.如權利要求1至3中任一項所述的顯微觀察用光學裝置，其特征在于， 所述支撐構件構成為在與具有所述第2倍率的所述光學系統的瞳孔位置對應的位置能夠使所述暖屏的所述第2開口出入。5.如權利要求1至4中任一項所述的顯微觀察用光學裝置，其特征在于， 所...

【專利技術屬性】
技術研發人員：中村共則，荒田育男，伊藤能弘，
申請(專利權)人：浜松光子學株式會社，
類型：
國別省市：