波長可變干涉濾波器及其制造方法、光模塊及電子設備技術

本發明專利技術提供了波長可變干涉濾波器及其制造方法、光模塊及電子設備。波長可變干涉濾波器（5）具備：具有固定反射膜（55）的第一基板（51）、與第一基板（5）1接合且具備可動部（522）及固定于可動部（522）的可動反射膜（56）的第二基板（52）、以及在第一基板（51）的相反側與第二基板（52）接合的第三基板（53），且波長可變干涉濾波器（5）還包括：通過第一基板（51）和第二基板（52）夾著的第一內部空間（581）、連通第一內部空間（581）和外部的第一間隙（591）、通過第二基板（52）和第三基板（53）夾著的第二內部空間（582）、連通第二內部空間（582）和外部的第二間隙（592），第一間隙（591）和第二間隙（592）通過密封材料（518）密封。

【技術實現步驟摘要】
波長可變干涉濾波器及其制造方法、光模塊及電子設備
本專利技術涉及從入射光選擇想要的目標波長的光并射出的波長可變干涉濾波器、具備該波長可變干涉濾波器的光模塊、具備該光模塊的電子設備以及波長可變干涉濾波器的制造方法。
技術介紹
以往，公 知有如下的光譜濾波器:使光在一對反射膜之間反射，使指定波長的光透過，干涉其他波長的光以抵消，從而從入射光取得指定波長的光。并且，作為這樣的光譜濾波器，公知有通過調整反射膜之間的距離，從而對射出的光進行選擇并射出的波長可變干涉濾波器。在專利文獻I中記載的波長可變干涉濾波器中，具備形成在透光性基板上的固定反射膜(miiTor)以及與固定反射膜相對配置的可動反射膜。該波長可變干涉濾波器通過靜電引力驅動可動反射膜，從而調整反射膜間的距離，選擇射出的光。這樣的波長可變干涉濾波器擔心由于濕度、異物等環境因素而使驅動特性、光學特征劣化，可靠性降低。因此，為了提高波長可變干涉濾波器的可靠性，公知有將波長可變干涉濾波器密封在封裝件(package)內的方法(例如參考專利文獻2)。在專利文獻2中記載的封裝件具備頭部(header)、多個導電銷、具有光學窗的蓋，在其內部內置波長可變干涉濾波器，且形成通過蓋和頭部被密封的內部。【現有技術文獻】【專利文獻】專利文獻1:日本特開昭62-257032號公報專利文獻2:日本特表2005-510756號公報但是，在專利文獻2中記載的封裝件內，需要獨立于波長可變干涉濾波器另外準備封裝件，并分別組裝。因此，為了確保波長可變干涉濾波器的可靠性，需要另外的封裝件以及組裝所需較多的成本和時間。并且，另外的封裝件由于具有用于收容波長可變干涉濾波器且密封其周圍的隔壁，所以存在具有封裝件的波長可變干涉濾波器的尺寸變大的問題。
技術實現思路
本專利技術的目的在于提供一種小型、能以低成本構造且確保可靠性的波長可變干涉濾波器、光模塊以及電子設備。本專利技術為了解決上述問題的至少一部分而提出，能作為以下的方式或適用例而實現。[適用例I]本適用例涉及的波長可變干涉濾波器具備:第一基板，具有透光性；第二基板，與所述第一基板相對，與所述第一基板接合且具有透光性；第三基板，與所述第二基板的設置有所述第一基板側的相反側相對，與所述第二基板接合且具有透光性；可動部，設置于所述第二基板，具有與所述第一基板相對的可動面；保持部，設置于所述第二基板，保持所述可動部能沿所述第二基板的厚度方向移動；兩個反射膜，在所述可動部的所述可動面以及所述第一基板的第二基板側的面，隔著規定的反射膜間間隔相對配置；以及靜電致動器，在所述第一基板和所述第二基板相互相對的面上，具有分別相互相對的兩個位移用電極，通過對這些所述位移用電極施加規定的電壓，從而通過靜電引力使所述可動部向基板厚度方向位移，在所述第一基板和所述第二基板、所述第二基板和所述第三基板之間分別通過接合層接合，具有通過所述第一基板和所述第二基板夾著的第一內部空間、及所述第二基板和所述第三基板夾著的第二內部空間，在所述第一基板和所述第二基板之間具有連通所述第一內部空間和外部的第一間隙，在所述第二基板和所述第三基板之間具有連通所述第二內部空間和外部的第二間隙，所述第一間隙及所述第二間隙通過密封所述第一內部空間和所述第二內部空間的密封材料而被密封。在本適用例中，通過密封材料密封形成在第一基板和第二基板間的連通了第一內部空間和外部的第一間隙、以及形成在第二基板和第三基板間的連通了第二內部空間和外部的第二間隙，從而密封由第一基板和第二基板夾著的第一內部空間、以及由第二基板及第三基板夾著的第二內部空間。在這種情況下，可以將設置有反射膜的可動部配置在密封的內部空間內，可以防止由于外部的濕度、異物引起的驅動特征、光學特征的劣化。因此，可以確保波長可變干涉濾波器的可靠性。并且，無需另外設置封裝件就可以將設置有反射膜的可動部配置在密封的空間，所以可以進行小型化、低成本化。并且，由于通過密封材料密封接合層的周圍，所以不依靠接合方法就可以通過密封材料確保密封品質。并且，由于可以在大氣壓環境和減壓環境中任一個環境下進行基板的接合，所以可以使用采用了等離子體聚合膜、金屬膜等的各種接合方法，且可確保各基板間的接合品質。[適用例2]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選所述第一間隙和所述第二間隙在所述第一內部空間和所述第二內部空間相對于外部處于減壓狀態下，被所述密封材料密封。在本適用例中，所述第一間隙和所述第二間隙在第一內部空間和第二內部空間處于減壓狀態下，被密封材料密封。在這種情況下，可以防止在設置有反射膜的可動部配置在減壓狀態的內部空間內，驅動時空氣阻力向可動反射膜作用，可以提高可動反射膜的響應性，且可充分地確保可動反射膜的響應性。[適用例3]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選具備連通所述第一內部空間和所述第二內部空間的貫通孔，所述第一間隙和所述第二間隙通過所述密封材料密封。在本適用例中，連通第一內部空間和第二內部空間的貫通孔形成于第二基板，在各內部空間處于減壓狀態下，通過密封材料密封各基板間的間隙。在這種情況下，由于通過貫通孔連通第一內部空間和第二內部空間，所以可以設定第一內部空間和第二內部空間內為減壓狀態且均勻的壓力。因此，可以抑制由于第一內部空間和第二內部空間的壓差而引起的可動反射膜的變動，且可以高精度地驅動可動反射膜。[適用例4]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選所述第一具備所述位移用電極的引出電極，且當從第二基板的厚度方向俯視觀察時，在所述第二基板的與所述引出電極重疊的區域具備第一貫通部，在所述俯視觀察時在所述第三基板的與所述引出電極重疊的區域具備第二貫通部，在所述第一基板和所述第二基板間的所述第一間隙的外周部具備與所述第一貫通部和所述第二貫通部連通的第一密封槽，在所述第二基板和所述第三基板間的所述第二間隙的外周部具備與所述第一貫通部和所述第二貫通部連通的第二密封槽，所述第一間隙和所述第二間隙通過所述密封材料被密封。在本適用例中，在第一基板形成有位移用電極的引出電極，在從基板厚度方向俯視觀察時與第二基板的引出電極重疊的區域形成有第一貫通部，在從基板厚度方向俯視觀察時與第三基板的引出電極重疊的區域形成有第二貫通部。并且，在各間隙的外周具備與第一貫通部及第二貫通部連通的第一密封槽、第二密封槽，第一內部空間、第二內部空間通過第一間隙、第一密封槽、第一貫通部、第二間隙、第二密封槽、第二貫通部與外部連通。并且，密封材料通過第一貫通部、第二貫通部以及第一密封槽、第二密封槽密封各基板間的第一間隙和第二間隙，從而可以將各內部空間密封設為減壓狀態。因此，可以通過第一貫通部、第二貫通部、第一密封槽、第二密封槽，使密封材料有效地浸透間隙，且可以確保密封品質。并且，即使在將元件多個排列為陣列的狀態下，也可以通過各貫通部和各密封槽高效地一并密封各元件的各間隙。因此，可以提高制造效率。[適用例5]在上述適用例涉及的波長可變干涉濾波器中，優選所述密封材料是合成樹脂。在本適用例中，適用以石油等作為原料制造的粘結劑等合成樹脂作為密封材料，在各基板的接合工序后，密封各基板間的第一間隙及第二間隙。此時，通過使用合成樹脂作為密封材料，從而可以在各種環境下進行密封工序。因此，可以本文檔來自技高網...

【技術保護點】
一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備：第一基板，具有第一反射膜；第二基板，具有可動部，所述可動部設置有與所述第一反射膜相對的第二反射膜，所述第二基板接合于所述第一基板；第三基板，與所述第二基板的設置有所述第一基板側的相反側相對，所述第三基板接合于所述第二基板；第一內部空間，設置在所述第一基板和所述第二基板之間；第一間隙，連通所述第一內部空間和外部；第二內部空間，設置在所述第二基板和所述第三基板之間；以及第二間隙，連通所述第二內部空間和外部，其中，在所述第一間隙設置有密封所述第一內部空間的密封材料，在所述第二間隙設置有密封所述第二內部空間的所述密封材料。

【技術特征摘要】
2012.08.30 JP 2012-1896261.一種波長可變干涉濾波器，其特征在于，具備: 第一基板，具有第一反射膜； 第二基板，具有可動部，所述可動部設置有與所述第一反射膜相對的第二反射膜，所述第二基板接合于所述第一基板； 第三基板，與所述第二基板的設置有所述第一基板側的相反側相對，所述第三基板接合于所述第二基板； 第一內部空間，設置在所述第一基板和所述第二基板之間； 第一間隙，連通所述第一內部空間和外部； 第二內部空間，設置在所述第二基板和所述第三基板之間；以及 第二間隙，連通所述第二內部空間和外部， 其中，在所述第一間隙設置有密封所述第一內部空間的密封材料， 在所述第二間隙設置有密封所述第二內部空間的所述密封材料。2.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述第一內部空間及所述第二內部空間相對于外部處于減壓狀態。3.根據權利要求1或2所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 連通所述第一內部空間和所述第二內部空間的貫通孔被設置于所述第二基板。4.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述第一基板和所述第二基板具備相互相對的位移用電極和與所述位移用電極導通的引出電極， 所述波長可變干涉濾波器還具備:第一貫通部，當從基板厚度方向俯視觀察時，在所述第二基板的與所述引出電極重疊的區域除去所述第二基板的一部分而形成； 第二貫通部，在所述俯視觀察時，在所述第三基板的與所述引出電極重疊的區域除去所述第三基板的一部分而形成； 第一密封槽，在所述第一間隙的外周部與所述第一貫通部及所述第二貫通部連通；以及 第二密封槽，在所述第二間隙的外周部與所述第一貫通部及所述第二貫通部連通， 所述第一密封槽被所述密封材料密閉，所述第二密封槽被所述密封材料密封。5.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述密封材料是合成樹脂。6.根據權利要求5所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述合成樹脂是對二甲苯類聚合物。7.根據權利要求1所述的波長可變干涉濾波器，其特征在于， 所述密封材料是無機薄膜。8.一種光模塊，其特征在于，具有: 根據權利要求1至7中任一項所述的波長可變干涉濾波器；以及 檢測部，檢測光， 其中，通過所述一對反射膜構成光干涉區域，所述檢測部檢測通過所述光干涉區域取出的光。9.一種電子設備,其特征在于,包括:根據權利要求1至7中任一項所述的波長可變...

【專利技術屬性】
技術研發人員：廣久保望，
申請(專利權)人：精工愛普生株式會社，
類型：發明
國別省市：