本發明專利技術屬于一種真空吸附裝置，具體涉及一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置。它包括平面帶孔工具板、真空腔體、真空發生器、氣管，平面帶孔工具板設置真空腔體上，通過氣管將真空發生器的進氣口與壓縮氣體源連接，通過氣管將真空發生器的出氣口與真空腔體連接。本發明專利技術的優點是，它解決了同盤腔平移鏡的待加工包絡面不在同一個平面上的問題，防止已完成加工的超光滑球面的表面質量被破壞。
【技術實現步驟摘要】
【專利摘要】本專利技術屬于一種真空吸附裝置，具體涉及一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置。它包括平面帶孔工具板、真空腔體、真空發生器、氣管，平面帶孔工具板設置真空腔體上，通過氣管將真空發生器的進氣口與壓縮氣體源連接，通過氣管將真空發生器的出氣口與真空腔體連接。本專利技術的優點是，它解決了同盤腔平移鏡的待加工包絡面不在同一個平面上的問題，防止已完成加工的超光滑球面的表面質量被破壞。【專利說明】一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置
本專利技術屬于一種真空吸附裝置，具體涉及一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置。
技術介紹
在激光陀螺腔平移鏡(如圖1所示)的加工過程中，通常是采用在直徑D范圍內拋光出超光滑球面，再在d?D范圍內拋光出光滑平面的加工流程。目前在平面加工過程中，多是采用將腔平移鏡的背面粘接到平面工具板上的上盤方式，這種上盤方式的優點是簡單易操作，缺點是難以保證同盤腔平移鏡的待加工包絡面在同一個平面上，從而導致已完成加工的超光滑球面的表面質量被破壞。
技術實現思路
本專利技術的目的是提供一種在進行腔平移鏡平面加工時使用的真空吸附裝置，它能夠克服同盤腔平移鏡的待加工包絡面不在同一個平面上的問題。本專利技術是這樣實現的，一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，它包括平面帶孔工具板、真空腔體、真空發生器、氣管，平面帶孔工具板設置真空腔體上，通過氣管將真空發生器的進氣口與壓縮氣體源連接，通過氣管將真空發生器的出氣口與真空腔體連接。所述的平面帶孔工具板采用光學石英玻璃制作，真空腔體采用金屬鋁制作。所述的真空腔體壁的上沿帶有凹槽，墊圈位于凹槽內，腔體壁上帶有一個螺紋孔。平面帶孔工具板的外形尺寸為(M50mmX20mm，其通孔直徑及通孔數目應根據腔平移鏡的外形尺寸確定，其上、下表面的平行度優于0.0Olmm,工具板上表面的平面度優于0.001mm。本專利技術的優點是，它解決了同盤腔平移鏡的待加工包絡面不在同一個平面上的問題，防止已完成加工的超光滑球面的表面質量被破壞。【專利附圖】【附圖說明】圖1為激光陀螺腔平移鏡示意圖；圖2為平面帶孔工具板的俯視圖；圖3為真空腔體的剖面圖；圖4為本專利技術所提供的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置示意圖。圖中，I平面帶孔工具板，2真空腔體，3真空發生器，4氣管。【具體實施方式】下面結合附圖和實施例對本專利技術進行詳細介紹:如圖4所示，一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置它包括平面帶孔工具板1、真空腔體2、真空發生器3、氣管4。真空腔體壁的上沿帶有凹槽，墊圈位于凹槽內，平面帶孔工具板I放置在真空腔體2上，通過氣管將真空發生器3的進氣口與壓縮氣體源連接，通過氣管4將真空發生器3的出氣口與真空腔體2連接。其中平面帶孔工具板I采用光學石英玻璃制作，真空腔體2采用金屬鋁制作。平面帶孔工具板I的外形尺寸為015OmmX2Omm，其通孔直徑及通孔數目應根據腔平移鏡的外形尺寸確定。工具板上、下表面的平行度應優于0.001mm，工具板上表面的平面度應優于0.001mm。真空腔體壁的上沿帶有凹槽，腔體壁上帶有一個螺紋孔。在對腔平移鏡進行球面拋光時，可采用的方法一般有兩種:①利用球面工具板和過渡片進行球面拋光；②利用球面帶孔工具板進行球面拋光。方法一的優點是被加工腔平移鏡的面形精度高，缺點是過渡片的加工過程復雜。方法二的優點是簡單易操作，缺點是被加工腔平移鏡的厚度一致性較差。建議采用方法一進行腔平移鏡的球面拋光。盤上檢驗合格后，將腔平移鏡與過渡片分離轉入化學清洗工序進行清洗。在平面拋光過程中，共有六個工步，分別為:①用脫脂棉蘸醇醚混合液擦凈平面帶孔工具板；②將化學清洗后的腔平移鏡定位放置在平面帶孔工具板上，腔平移鏡的待加工面向下；③將真空發生器的開關打開以吸附腔平移鏡；④將涂抹熱粘接膠(松香與石蠟配制而成)的另一平面帶孔工具板定位放置在腔平移鏡的背面；⑤待粘接膠冷卻后關閉真空發生器的開關，停止吸附；⑥調整設備各項參數進行拋光。研磨拋光機的壓力、主軸轉速、擺軸擺速要合理設置，在規定的拋光時間內完成平面拋光，以免破壞腔平移鏡的球面質量。【權利要求】1.一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:它包括平面帶孔工具板(1)、真空腔體(2)、真空發生器(3)、氣管(4)，平面帶孔工具板(1)設置真空腔體(2)上，通過氣管將真空發生器(3)的進氣口與壓縮氣體源連接，通過氣管(4)將真空發生器(3)的出氣口與真空腔體⑵連接。2.如權利要求1所述的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:所述的平面帶孔工具板(1)采用光學石英玻璃制作，真空腔體(2)采用金屬鋁制作。3.如權利要求1所述的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:所述的真空腔體壁的上沿帶有凹槽，墊圈位于凹槽內，腔體壁上帶有一個螺紋孔。4.如權利要求1或2所述的一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于:平面帶孔工具板(1)的外形尺寸為Φ150_Χ20_，其通孔直徑及通孔數目應根據腔平移鏡的外形尺寸確定，其上、下表面的平行度優于0.001mm,工具板上表面的平面度優于0.001mm。【文檔編號】B24B13/005GK103737453SQ201310508493【公開日】2014年4月23日 申請日期:2013年10月25日 優先權日:2013年10月25日 【專利技術者】金玉竹, 童毅, 夏東棟, 吳東旭 申請人:中國航天科工集團第三研究院第八三五八研究所本文檔來自技高網...
【技術保護點】
一種在激光陀螺腔平移鏡的加工中使用的真空吸附裝置，其特征在于：它包括平面帶孔工具板(1)、真空腔體(2)、真空發生器(3)、氣管(4)，平面帶孔工具板(1)設置真空腔體(2)上，通過氣管將真空發生器(3)的進氣口與壓縮氣體源連接，通過氣管(4)將真空發生器(3)的出氣口與真空腔體(2)連接。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：金玉竹，童毅，夏東棟，吳東旭，
申請(專利權)人：中國航天科工集團第三研究院第八三五八研究所，
類型：發明
國別省市：
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