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高頻電功率向臭氧生產(chǎn)單元的供給的改進能夠使用文中所述的系統(tǒng)和技術(shù)來實現(xiàn)。操作在遠大于負載頻率的切換頻率下的DC到DC轉(zhuǎn)換器的應(yīng)用支持了用于為此種單元供電的高壓AC的生成，同時允許了元件尺寸的減小以及負載調(diào)諧電路中質(zhì)量因子的減小。用于獲得一個...該專利屬于MKS儀器股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過MKS儀器股份有限公司授權(quán)不得商用。