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本實用新型公開了一種多晶硅定向提純爐，屬于多晶硅的提純領域，用以解決多晶硅熔煉過程中的高溫揮發性雜質對多晶硅定向提純爐、真空泵組造成損害的問題。本實用新型包括爐體和真空抽氣裝置，所述真空抽氣裝置包括真空管路、安裝在真空管路上的比例閥和滑閥泵...
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