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本發明公開了一種氣體傳感器芯片,由第一層至第四層共四層壓電基片疊壓而成,所述第一層壓電基片上設置有參比氣體通道;所述第一層壓電基片和第二層壓電基片之間設置有參比電極,所述參比氣體通道與所述參比電極相連通;所述第二層壓電基片和第三層壓電基片之...該專利屬于無錫信大氣象傳感網科技有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過無錫信大氣象傳感網科技有限公司授權不得商用。
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