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一種生產率良好地形成鈍化效果優良的由氮化硅構成的反射防止膜的太陽能電池的制造方法，其特征在于，使用具備成膜室(101)、具有使氨氣激發的激發部(111a、112a)和對激發了的氨氣導入硅烷氣體而活性化的活性化反應部(111b、112b)的等...
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