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本發明的目的在于提供一種PLC平面光波導與微流量計的集成加工方法，通過在硅晶圓基體上生長襯底，襯底上沉積摻雜的波導芯層，生長掩膜層，通過光刻工藝在掩膜層生成一層圖形，通過干法刻蝕將掩膜層的圖形轉移至波導芯層，剝離掩膜層后，再在其上沉積覆蓋層...
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