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    下載一種帶應力傳感器的場發射結構的技術資料

    文檔序號:12211245

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    本實用新型涉及一種碳納米管場發射裝置,具體涉及一種帶應力傳感器的場發射結構。應力傳感器位于襯底和陽極之間位置,所述結構固定在支架上。應力傳感器為膜狀結構,一般采用TiN薄膜。應力傳感器的應用,使得裝置在達到最大彎曲極限的情況下,發出提示,避...
    該專利屬于中國計量學院所有,僅供學習研究參考,未經過中國計量學院授權不得商用。

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