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    下載按壓傳感器裝置的技術資料

    文檔序號:12282277

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    本發明提供了一種按壓傳感器裝置,所述按壓傳感器裝置包括底板、與所述底板蓋接形成密閉腔體的彈性外殼以及置于密閉腔體中的MEMS壓力傳感器以及ASIC芯片,所述彈性外殼受按壓時,密閉腔體內的氣體被壓縮從而使密閉腔體內的空氣壓強發生變化,MEMS...
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