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本發明揭示了一種晶圓裝載端口結構，包括至少兩個晶圓裝載端口，該至少兩個晶圓裝載端口呈夾角布置，并且該至少兩個晶圓裝載端口位于同一個圓周上。該圓周是對晶圓裝載端口進行裝卸的機械臂圍繞轉動中心，將機械臂伸展時所劃過的圓周。每一個晶圓裝載端口的頂...該專利屬于盛美半導體設備(上海)有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過盛美半導體設備(上海)有限公司授權不得商用。
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本發明揭示了一種晶圓裝載端口結構，包括至少兩個晶圓裝載端口，該至少兩個晶圓裝載端口呈夾角布置，并且該至少兩個晶圓裝載端口位于同一個圓周上。該圓周是對晶圓裝載端口進行裝卸的機械臂圍繞轉動中心，將機械臂伸展時所劃過的圓周。每一個晶圓裝載端口的頂...