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本發明提供一種用于拋光鈷的漿液以及襯底拋光方法。所述漿液包含：經配置以執行拋光的研磨劑，所述研磨劑包括氧化鋯顆粒；經配置以分散研磨劑的分散劑；以及經配置以加速拋光的拋光加速劑。所述拋光加速劑包含含有胺基和羧基的有機酸。依據根據示范性實施例的...
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