溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

一種用于加速度計的感測結構，其包括：通過柔性支腿安裝到支撐件的檢驗質量塊以用于響應于沿著感測方向施加的加速度的平面內移動；所述檢驗質量塊包括基本垂直于所述感測方向延伸并且在所述感測方向上間隔開的多個可移動電極指狀物；至少一對固定電容電極，其...
該專利屬于大西洋慣性系統有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過大西洋慣性系統有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。