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    下載一種石墨加熱爐內石墨熱場表面制備SiC涂層的方法的技術資料

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    本發明公開了一種石墨加熱爐內石墨熱場表面制備SiC涂層的方法,包括(1)將爐內氣壓抽至1~10-2Pa,然后將石墨加熱爐內溫度提升至100~150℃;(2)維持爐內氣壓不變,將溶度為30-50%硅溶膠溶液從爐內頂部吸入真空爐內,溶液吸入的流...
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