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    下載恰克拉斯基法硅晶體生長系統的快速冷卻的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：1461560
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      一種生產單晶硅棒的恰克拉斯基法，其中，單晶硅棒從裝在生長室內的坩堝中的硅熔體中拉出，在單晶硅棒從生長室內的硅熔體中拉出以后，通過向所說的生長室內引入在８００°Ｋ的熱導率至少為約５５×１０↑［－５］ｇ.ｃａｌ．／（ｓｅｃ.ｃｍ↑［２］）（℃／...
    該專利屬于MEMC電子材料有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過MEMC電子材料有限公司授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
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