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    下載電容的制造方法、以及CMOS圖像傳感器的制造方法的技術資料

    文檔序號:14906308

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    一種電容的制造方法、以及CMOS圖像傳感器的制造方法,電容制造方法包括:提供形成有STI結構的襯底,STI結構的上表面高于襯底的表面;在襯底和STI結構上形成堆疊層,堆疊層包括應力緩沖層、以及其上的硬掩模層;在堆疊層內形成露出表面的開口;在...
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