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在各種實施方案中，通過噴涂沉積靶材的顆粒以至少部分填充某些區域(例如，最深侵蝕的區域)而在其他侵蝕區域(例如，更少侵蝕的區域)內沒有噴涂沉積來部分地翻新侵蝕濺射靶。在濺射性能(例如，濺射速率)和/或濺射膜的性能沒有實質性改變的情況下，部分地...
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