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本發明提供一種具有能夠表現出強的抓持力并且污染物難以附著殘留于半導體側的半導體載置部件的半導體輸送部件。另外，本發明提供一種能夠表現出強的抓持力并且污染物難以附著殘留于半導體側的半導體載置部件。本發明的半導體輸送部件具有輸送基材和半導體載置...
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