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本發明涉及一種用于吸附和/或解吸氣體的至少一種氣體成分的微結構（12），所述氣體被輸送給所述微結構（12），所述微結構包括具有下側（16）和上側（18）的半導體襯底（14），其中提供多個微通道（20），所述微通道分別從半導體襯底（14）的下...
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