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本發明涉及用于拋光有機膜的用于有機膜的CMP漿料組合物以及使用其的有機膜拋光方法，所述CMP漿料組合物包含：極性溶劑和/或非極性溶劑；金屬氧化物研磨劑；氧化劑；和雜環化合物，其中作為雜原子的雜環化合物包含氧(O)原子、硫(S)原子和氮(N)...
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