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本發明涉及微機電系統，特指一種微通道散熱器及由其組成的微機電產品散熱系統裝置。微機電產品散熱系統裝置由儲液池，微型泵，微過濾器，微通道散熱器，回流閥和管路組成；儲液池、微型泵、微過濾器、微通道散熱器和儲液池之間依次通過管路連接，微型泵的管路...
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