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本發明公開了化學技術領域的一種金屬有機化學氣相沉積反應系統，包括反應室，所述反應室的頂部安裝有頂蓋，所述反應室與頂蓋的連接處設置有密封墊圈，所述頂蓋的底部均勻安裝有金屬反應源出口，所述頂蓋的頂部連接有分氣頭，所述分氣頭的頂部連接有金屬反應源...
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