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在直接法拉晶機中采用熱屏蔽組件，用于有選擇地保護半導體材料的單晶錠料，以便控制錠料單晶結構中聚集的缺陷類型和數據密度。熱屏蔽組件具有一個上熱屏蔽，該上熱屏蔽連接到一個下熱屏蔽上。上熱屏蔽和下熱屏蔽相互連接，并滑動式連接到一個中間熱屏蔽上。下...
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