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    下載超高立式反應器的氮化鎵金屬有機物化學氣相淀積法設備的技術資料
    
                    
    
                      
    文檔序號：1830702
    
                    
    
                  
    

                  
                  
    
                      
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                      本發明提供了一種超高立式反應器的氮化鎵金屬有機物化學氣相淀積法設備，它可以解決現有技術存在的生長的材料高鋁組份受限等問題。本發明的技術方案是，所述反應器中的內管直徑Ｄ和高度Ｈ的比值Ｄ／Ｈ在０．１６－０．５之間。由于內管的高度與現有技術相比大...
    該專利屬于張國華所有，僅供學習研究參考，未經過張國華授權不得商用。
                      
                  
                  
                  
    詳細技術文檔下載地址
    


                      
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