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本實(shí)用新型實(shí)施例公開了一種激光錯(cuò)誤注入設(shè)備，用于對(duì)芯片進(jìn)行激光錯(cuò)誤注入，包括：激光源，用于發(fā)射激光；變焦耦合鏡，用于調(diào)節(jié)激光在被測(cè)芯片上所形成光斑的尺寸；顯微鏡，其光路被設(shè)置為指向被測(cè)芯片，包括光路耦合鏡、聚焦鏡、成像鏡、相機(jī)或目鏡；設(shè)備被...該專利屬于深圳市紐創(chuàng)信安科技開發(fā)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過深圳市紐創(chuàng)信安科技開發(fā)有限公司授權(quán)不得商用。