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    下載一種半導(dǎo)體芯片以及智能功率模塊的技術(shù)資料

    文檔序號:27225006

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    本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體芯片,包括依次層疊的第一半導(dǎo)體層、絕緣層、以及第二半導(dǎo)體層;其中,在所述第一半導(dǎo)體層上形成有第一電子元器件;在所述第二半導(dǎo)體層上形成有第二電子元器件;在所述第二電子元器件下方的所述絕緣層內(nèi)具有空洞區(qū),以隔離所述第一電子...
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