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一種把在具備對準(zhǔn)標(biāo)記的印模上形成的壓印圖案轉(zhuǎn)印到具備對準(zhǔn)標(biāo)記的基板上，或者轉(zhuǎn)印到置于基板和印模之間的樹脂材料上的圖案轉(zhuǎn)印方法，所述圖案轉(zhuǎn)印方法包括通過把提供給印模的對準(zhǔn)標(biāo)記和提供給參考基板的對準(zhǔn)標(biāo)記布置在第一物體位置，并通過第一圖像拾取裝置...該專利屬于佳能株式會社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過佳能株式會社授權(quán)不得商用。