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本發明涉及一種熱電堆紅外傳感器及其制造方法，其中，熱電堆紅外傳感器包括：設有膜狀熱敏電阻的承載基板，承載基板包括相對的第一表面和第二表面；熱電堆結構，熱電堆結構包括設有第一空腔的第一襯底和設置于第一襯底上的熱電堆主體，熱電堆主體至少由一組熱...該專利屬于中芯集成電路(寧波)有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中芯集成電路(寧波)有限公司授權不得商用。
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本發明涉及一種熱電堆紅外傳感器及其制造方法，其中，熱電堆紅外傳感器包括：設有膜狀熱敏電阻的承載基板，承載基板包括相對的第一表面和第二表面；熱電堆結構，熱電堆結構包括設有第一空腔的第一襯底和設置于第一襯底上的熱電堆主體，熱電堆主體至少由一組熱...