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一種監(jiān)測(cè)晶圓托盤平整性的方法，該晶圓托盤上吸附測(cè)試晶圓，其特征在于：該方法通過(guò)監(jiān)測(cè)吸附在晶圓托盤上的測(cè)試晶圓是否變形來(lái)監(jiān)測(cè)晶圓托盤是否平整。...該專利屬于中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司授權(quán)不得商用。