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    下載消除晶片及芯片上金屬凸塊的高度差異的方法的技術資料

    文檔序號:3208077

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    利用加壓的方式或者結合研磨的方法,可一次消除整片晶圓及晶粒上所有金屬凸塊間的高度差異,使所有金屬凸塊都具有實質上相同的高度。...
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