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本發(fā)明揭示了一種電鍍裝置，包括多個(gè)電極，所述的多個(gè)電極包括主電極和至少兩個(gè)第二電極，各電極在晶圓表面對(duì)應(yīng)區(qū)域形成電場(chǎng)，各第二電極與主電極之間分別可選擇的獨(dú)立控制或共同控制，所述的電極分別帶有控制接口，通過選擇各第二電極與主電極之間的控制關(guān)系...該專利屬于盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司授權(quán)不得商用。