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    下載一種sheet掩膜版的制作方法的技術資料

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    本申請公開了一種sheet掩膜版的制作方法,包括以下步驟:S1:取厚度為h0的基材,金屬基材的A面為上表面,B面為下表面;S2:在基材上涂覆光阻膜,曝光,顯影,蝕刻后形成基板,基板包括有效區和將有效區包圍在內的輔助區,有效區與輔助區之間設有...
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