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本實用新型涉及半導體濕制程設備技術領域，特別是一種非金屬回轉環裝置，包括由非金屬材料制成的第一回轉體、第二回轉體和第三回轉體；所述第一回轉體的內側帶有階梯孔，第一回轉體的外圈帶有凸臺結構，第三回轉體套在凸臺結構上，所述第二回轉體的外圈帶有階...該專利屬于盛華基材（天津）科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過盛華基材（天津）科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及半導體濕制程設備技術領域，特別是一種非金屬回轉環裝置，包括由非金屬材料制成的第一回轉體、第二回轉體和第三回轉體；所述第一回轉體的內側帶有階梯孔，第一回轉體的外圈帶有凸臺結構，第三回轉體套在凸臺結構上，所述第二回轉體的外圈帶有階...